蘇州中科科美科技有限公司（簡稱蘇州科美），是北京中科科美科技股份有限公司全資子公司，系所屬企業(yè)，傳承科學(xué)儀器研制中心60多年的真空裝備制造經(jīng)驗，是一家集設(shè)備研發(fā)、設(shè)計、制造、銷售服務(wù)于一體的。
為響應(yīng)中科科儀集團投資建設(shè)蘇州儀器裝備產(chǎn)業(yè)園、推進中科院裝備關(guān)鍵核心研制技術(shù)開發(fā)、加速科學(xué)儀器裝備與核心零部件創(chuàng)新成果產(chǎn)業(yè)化的戰(zhàn)略部署，蘇州科美落戶蘇州科技城，重點發(fā)展以檢漏技術(shù)為核心的檢漏工程業(yè)務(wù)，實現(xiàn)規(guī)?；l(fā)展。充分發(fā)揮本地化優(yōu)勢，開發(fā)華東、華中、華南真空應(yīng)用市場，加速推進真空裝備產(chǎn)業(yè)化進程。
蘇州中科科美致力于為用戶提供量身定制真空系統(tǒng)解決方案及技術(shù)咨詢服務(wù)，產(chǎn)品包含真空氦檢漏系統(tǒng)、超高真空排氣臺、空間模擬設(shè)備、真空存儲柜、真空爐、真空充油機等各類非標定制設(shè)備。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車制造、電力系統(tǒng)、半導(dǎo)體、科研系統(tǒng)等眾多領(lǐng)域。
公司以客戶為中心，建立了完善的質(zhì)量體系，全面實施精益化管理，以優(yōu)秀的產(chǎn)品和服務(wù)，為客戶創(chuàng)造價值?？泼拦局铝τ诎l(fā)展成為國內(nèi)、具有國際競爭力的真空系統(tǒng)集成整體解決方案供應(yīng)商，實現(xiàn)與客戶的共同成長！
應(yīng)用領(lǐng)域
該設(shè)備用于通過磁控濺射法沉積非金屬薄膜與金屬薄膜，用戶可以根據(jù)工藝的需要選擇單靶獨立工作、四靶輪流工作或四靶任意組合共濺等工作模式。
該設(shè)備由主腔室和預(yù)備室兩個真空室組成。主腔室用于鍍制薄膜，完成用戶主要鍍膜工藝過程。
預(yù)備室通過高真空插板閥與主腔室相連，可以用于鍍膜前基片與鍍膜后薄膜的等離子清洗，并可以在不破壞主腔室真空的條件下更換基片。
設(shè)備描述
鍍膜室：
1. 有效尺寸約￠550×500，極限真空：5×10-5Pa；
2.腔體具有自加熱烘烤除氣功能；
4.基片尺寸“4吋?？蓪崿F(xiàn)旋轉(zhuǎn)、升降；
5. 加熱溫度600℃，控溫精度±1度；
預(yù)備室：
1. 有效尺寸約￠300×350；極限真空：5×10-4Pa；
2. 腔體具有自加熱烘烤除氣功能；
3. 對基片射頻濺射清洗功能；
4. 配置基片庫，可一次裝卡4片基片；
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