蘇州中科科美科技有限公司（簡稱蘇州科美），是北京中科科美科技股份有限公司全資子公司，系所屬企業(yè)，傳承科學(xué)儀器研制中心60多年的真空裝備制造經(jīng)驗(yàn)，是一家集設(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售服務(wù)于一體的。
為響應(yīng)中科科儀集團(tuán)投資建設(shè)蘇州儀器裝備產(chǎn)業(yè)園、推進(jìn)中科院裝備關(guān)鍵核心研制技術(shù)開發(fā)、加速科學(xué)儀器裝備與核心零部件創(chuàng)新成果產(chǎn)業(yè)化的戰(zhàn)略部署，蘇州科美落戶蘇州科技城，重點(diǎn)發(fā)展以檢漏技術(shù)為核心的檢漏工程業(yè)務(wù)，實(shí)現(xiàn)規(guī)?；l(fā)展。充分發(fā)揮本地化優(yōu)勢，開發(fā)華東、華中、華南真空應(yīng)用市場，加速推進(jìn)真空裝備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。
蘇州中科科美致力于為用戶提供量身定制真空系統(tǒng)解決方案及技術(shù)咨詢服務(wù)，產(chǎn)品包含真空氦檢漏系統(tǒng)、超高真空排氣臺、空間模擬設(shè)備、真空存儲柜、真空爐、真空充油機(jī)等各類非標(biāo)定制設(shè)備。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車制造、電力系統(tǒng)、半導(dǎo)體、科研系統(tǒng)等眾多領(lǐng)域。
公司以客戶為中心，建立了完善的質(zhì)量體系，全面實(shí)施精益化管理，以優(yōu)秀的產(chǎn)品和服務(wù)，為客戶創(chuàng)造價值。科美公司致力于發(fā)展成為國內(nèi)、具有國際競爭力的真空系統(tǒng)集成整體解決方案供應(yīng)商，實(shí)現(xiàn)與客戶的共同成長！
應(yīng)用領(lǐng)域
磁濺射鍍膜機(jī)是一種普適鍍膜機(jī)，用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系。
可鍍各種硬質(zhì)膜、金屬膜、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷膜、介質(zhì)復(fù)合膜和其他化學(xué)反應(yīng)膜，亦可鍍鐵磁材料。
主要用于實(shí)驗(yàn)室制備有機(jī)光電器件的金屬電極及介電層，以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層。
技術(shù)參數(shù)
1．極限真空壓力：9×10-5Pa
2．靶直徑(mm)：50
3．靶單位面積功率（W/cm2）：20
4．靶電源功率（W）：DC1000；RF500
5．基片加熱溫度：室溫-500℃ 可控
6．恢復(fù)真空抽氣時間（min）：<30
7．基片沉積速率（nm/s）：3
8．氣體流量：0-200slm
9．電壓（KV）：0-35可調(diào)
10．束流（NA）：≤100
11．掃描面積（mm2）：120×120
12．束斑尺寸（mm）：2-10
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