HITACHI EA600VX 掃描X射線熒光光譜儀 特 點(diǎn)：
◆無(wú)需使用液態(tài)氧的高感度實(shí)現(xiàn)
◆超高速掃描（500點(diǎn)連續(xù)測(cè)定）及位置測(cè)試雙重功能
◆多功能自動(dòng)定位 ◆凹凸樣品自動(dòng)補(bǔ)正
◆超高解析樣品圖像 ◆高精度膜厚測(cè)定
◆微小異物查找 ◆掃描
1. 高速掃描測(cè)量
通過(guò)結(jié)合了大幅提高的微小區(qū)域X射線瑩光分析靈敏度和高速電動(dòng)平臺(tái)，能夠快速獲得二維掃描圖像。特別是強(qiáng)化了對(duì)線路板中鉛的掃描，配備了鉛掃描濾波器。讓1,000ppm以下無(wú)鉛焊錫中的鉛掃描變成簡(jiǎn)單可行。
2. 寬視野高清晰度光學(xué)系?
可獲得250mm x 200mm的20μm以下高清晰度的光學(xué)影像。以該光學(xué)影像可以直接精確測(cè)量位置，讓操作性得到飛躍般的改善。此外，該光學(xué)影像可以和通過(guò)高速掃描獲得的掃描圖像進(jìn)行重迭，可在大范圍內(nèi)進(jìn)行高精度分析。
3. 微小區(qū)域中微量金屬的高速測(cè)量
實(shí)現(xiàn)了高密度微小X射線束以及配備的高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器，加上充分考慮到X射線瑩光檢測(cè)效率的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了高靈敏度化。微小區(qū)域中微量金屬或薄膜都可在短時(shí)間內(nèi)測(cè)量。即使是1mm x 1mm左右的微小區(qū)域也可以以100秒左右的速度測(cè)量其中的有害物質(zhì)。
4. 無(wú)需液氮的高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器
作為標(biāo)準(zhǔn)配置本公司*的無(wú)需液氮的高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器，省去了繁瑣的液氮補(bǔ)給程序。僅需數(shù)分鐘的開(kāi)機(jī)時(shí)間，同時(shí)電子冷卻的規(guī)格具備了優(yōu)異的可信性。運(yùn)用的技術(shù)可以減少在液氮制造、搬運(yùn)時(shí)產(chǎn)生的二氧化碳，以及提高測(cè)量速度后節(jié)省下的電力等，是一款考慮到環(huán)保問(wèn)題的*儀器。
5. 微小區(qū)域的鍍層厚度測(cè)量
可在十秒左右的時(shí)間完成對(duì)0.2mm x 0.2mm面積中Au/Ni/Cu（金/鎳/銅）等薄膜多鍍層的鍍層厚度測(cè)量。此外，也可對(duì)無(wú)鉛焊錫鍍層或化學(xué)鎳鍍層中含有的微量鉛進(jìn)行分析。
HITACHI EA600VX 掃描X射線熒光光譜儀 基本規(guī)格
X射線發(fā)生部 | 照射方式 | 上部垂直照射方式 |
電壓 | 大50kV，多段電壓切換 | |
電流 | 4-1000μA，可做自動(dòng)調(diào)整設(shè)定 | |
準(zhǔn)直器 | 4個(gè)，Φ0.2mm、Φ0.5mm、Φ1.2mm、Φ3mm (自動(dòng)切換) | |
檢測(cè)器 | 形式 | Vortex硅半導(dǎo)體多陰極偵測(cè)器 |
冷卻方式 | 電子冷卻(不需要液態(tài)氮，也非冷凍機(jī)冷卻) | |
一次濾波器 | 五種濾波器，6種模式可自動(dòng)切換 | |
樣品觀察 | CCD監(jiān)視器 | 高分辨率CCD彩色鏡頭 雙系統(tǒng) |
觀察倍率 | 多倍數(shù)自動(dòng)切換- | |
照明 | LED燈，無(wú)影燈設(shè)計(jì)影像無(wú)陰影 | |
同軸觀察系 | 視野：6×4mm 分辨率：20um WD：5mm、15mm、25mm電動(dòng) | |
廣域觀察系 | 視野：250×200mm 分辨率：20um以下 | |
自動(dòng)桌面功能 | 測(cè)量位置 | 在畫面上利用鼠標(biāo)完成X-Y-Z的坐標(biāo)輸入 |
設(shè)定測(cè)量位置 | 原點(diǎn)的坐標(biāo)和畫像保存以及位置偏差角度的修正 | |
確認(rèn)測(cè)量位置 | 圖表表示測(cè)量位置 | |
再測(cè)量功能 | 通過(guò)和測(cè)量位置的連動(dòng)，可以進(jìn)行再測(cè)量 | |
樣品臺(tái) | 250(W)x200(D)mm | |
移動(dòng)量 | 大580(W)x450(D)x150(H)mm | |
大樣品厚度 | 150mm | |
載重量 | 5kg | |
電源容量，接地 | AC 100V±10% 15A 2系統(tǒng) 第3種接地 | |
