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12英寸大面積專用離子減薄儀（MU700）

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2022-10-06 12:36:53瀏覽次數(shù)：362次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

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所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

關(guān)鍵詞：RIE、RIBE、反應(yīng)離子束刻蝕、CAIEB、化學(xué)輔助離子束刻蝕、過(guò)渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT型號(hào)：MU700S;產(chǎn)地：歐洲

詳細(xì)介紹

關(guān)鍵詞：RIE、RIBE、反應(yīng)離子束刻蝕、CAIEB、化學(xué)輔助離子束刻蝕、

                過(guò)渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT

 

型號(hào)：MU700S;    產(chǎn)地：歐洲；  

應(yīng)用：過(guò)渡金屬, PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe 等;

 

代表性用戶：法國(guó)科學(xué)研究中心（CNRS）、意法半導(dǎo)體（ST）

 

RFICP源：束徑可達(dá) 220 mm

 

采用分子泵或低溫泵+干泵組合真空系統(tǒng)

 

均勻性：+/- 5%  on 290 mm襯底

 

水冷樣品臺(tái)，襯底尺寸可達(dá)直徑300mm

 

樣品臺(tái)可以傾斜和旋轉(zhuǎn)

 

配套SIMS用于刻蝕監(jiān)控

 

配置Load Lock

 

控制系統(tǒng)：全自動(dòng)控制，半自動(dòng)和手動(dòng)模式可用
              支持多級(jí)用戶權(quán)限設(shè)置和管理
              支持設(shè)備遠(yuǎn)程操作、監(jiān)控、診斷和維護(hù)
              系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警及定位故障

 

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