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廣州市固潤光電科技有限公司


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主動減震臺-防振臺-隔震臺-主動隔震臺 AVI-400M

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產品型號AVI-400M

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更新時間：2023-02-01 13:41:45瀏覽次數：584次

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產品簡介

主動減震臺 防振臺 隔震臺 AVI-400M是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界的主動隔振性能（從0.5 Hz開始）。AVI系列 主動減震臺 通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調的模塊化設計，無需為大多數儀器（包括大多數SEM）安裝所需的升降設備，從而簡化了安裝過程。

詳細介紹

主動減震臺-防振臺-隔震臺-主動隔震臺 AVI-400M頻率為 0.5Hz – 200Hz，被動隔振頻率>200Hz，其能夠整合到現有的需要低頻隔振的設備中，主動檢測輸入振動并動態(tài)消除；允許自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸和配置，可通過增加隔振模塊的數量來支持更大的儀器載重量。安裝簡單，易操作，穩(wěn)定性高，能連續(xù)使用多年！

主動減震臺

產品描述:

主動減震臺AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界的主動隔振性能（從0.5 Hz開始）。AVI系列隔震臺通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調的模塊化設計，無需為大多數儀器（包括大多數SEM）安裝所需的升降設備，從而簡化了安裝過程。

適用于各類大型電子顯微鏡AEMSEMATMTEM,防震臺，輪廓儀防震臺，電子太平防震臺，超快激光系統(tǒng)防震臺，時頻系統(tǒng)防震臺，大型半導體設備防震臺，激光設備主動防震！

工作原理：

主動減震臺AVI-400M使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產生作用力，并繼續(xù)產生的振動隔離狀態(tài)。主動減震臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。

AVI系列防振臺采用*的隔振技術，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。AVI系列平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O備如電鏡，光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。

主動減震臺產品特點：

  • 六個空間方向自由隔振(0.5Hz – 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)
  • 5-20ms響應時間
  • 低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單
  • 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除
  • 緊湊、模塊化的多功能設計
  • 穩(wěn)定性高，能連續(xù)使用多年
  • 無低頻共振、無空氣要求

應用范圍：

  • 超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）
  • 光刻工具
  • 高精度計量工具
  • 光譜儀器

主動減震臺技術參數：

  • 型號：AVI-400M/LP
  • 系統(tǒng)配置：獨立隔振裝置 & 控制裝置
  • 主動隔振范圍：大致為1.0 Hz – 200 Hz
  • 被動隔振范圍:大致為200 Hz以上
  • 顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。
  • LEDs 指示輸出階段的過載情況。
  • 單元尺寸(每個):190 x 720 x 112.5 Hmm
  • 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
  • 隔振單元重量: 20kg
  • 負載能力:800 kg (同等/低重心)
  • 輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
  • 功耗：通常18W
  • 校正力：水平8N，垂直16N
  • 系統(tǒng)噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
  • 靜態(tài)柔度：垂直約1.7 µm/N，水平約3.4 µm/N
  • 溫度范圍：5℃ – 40℃
  • 相對濕度：10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
  • 室內/室外使用：僅用于室內

升級選項：

  • AVI-400M主動減震臺 可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

主動減震臺隔振效果：

性能對比圖：SEM的研究人員在兩種條件下進行成像：不含隔振系統(tǒng)和包含AVI系列防振臺。當使用AVI系列防振臺搭載SEM時，所得圖像表明圖像質量和整體測量清晰度得到大幅提升。

隔振臺-Table stable-低頻隔振臺AVI-400S的隔振效果圖

標簽:AVI系列主動減震臺主動隔震臺傳感器低頻穩(wěn)定器減震臺加速度傳感器示波器防振臺防震臺隔振隔振系統(tǒng)隔震臺

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