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深圳市韻騰激光科技有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地深圳市
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更新時間：2025-04-16 09:26:20瀏覽次數(shù)：64次
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行業(yè)應(yīng)用：
半導(dǎo)體集成電路，包括單雙臺面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片，單雙臺面可控硅晶圓切割劃片，砷化鎵，氮化鎵，IC晶圓切割劃片。
機器優(yōu)點：
1、采用皮秒激光器、定制聚焦頭， 聚焦光束直徑小到3μm，切割道僅需10μm，切縫窄，更多的芯片出片率，無熱效應(yīng)，對芯片電路無損傷。
2、劃片速度高達500mm/s, 對于厚度1mm內(nèi)樣品，激光劃線僅需一次即可折斷。
3、CCD視覺預(yù)掃描&自動抓靶定位、加工范圍650mm×450mm、XY平臺拼接精度≤±3μm
4、無錐度切割、最小崩邊3μm, 邊緣光滑。
5、支持多種視覺定位特征，如十字、實心圓、空心圓、L型直角邊、影像特征點等。
6、6年激光微細加工系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計技術(shù)積淀、性能穩(wěn)定、3萬小時無耗材。
7、機械手全自動上下料系統(tǒng)，節(jié)省人力成本。
皮秒激光劃片原理（透明材料內(nèi)聚焦爆裂切割）：
通過貝塞爾或DOE光學(xué)系統(tǒng)，把高斯激光光束壓縮到衍射極限，在100-200KHz高重復(fù)頻率、10ps極短脈寬的激光束作用下，聚焦光斑直徑小至3μm，具有非常高的峰值功率密度，其在透明材料內(nèi)部聚焦時，瞬間氣化該區(qū)域材料從而產(chǎn)生一個氣化帶，并向上下兩表面擴散形成非線性裂紋，從而實現(xiàn)對材料的切割分離。常見的透明材料包括玻璃、藍寶石和半導(dǎo)體硅片（紅外輻射是能夠透射半導(dǎo)體硅材料的）都是適宜用皮秒&飛秒激光劃片加工的。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
| 序號 | 項目 | 技術(shù)參數(shù) |
| 光學(xué)單元 | ||
| 1 | 激光器類型 | 1064nm 10ps 200KHz |
| 2 | 冷卻方式 | 恒溫水冷 |
| 3 | 激光功率 | 50W |
| 4 | 光束質(zhì)量 | M2<1.3 |
| 5 | 聚焦方式&加工頭數(shù) | 單點聚焦鏡、單頭 |
| 6 | 最小聚焦光斑直徑 | Ф3μm |
| 激光加工性能 | ||
| 7 | 加工速度 | 100~1000mm/s可調(diào) |
| 8 | 最小崩邊 | 3μm |
| 9 | 加工材料厚度 | 1mm |
| 10 | 加工尺寸&精度 | 12inches, ±5μm |
| 機械單元 | ||
| 11 | 機床結(jié)構(gòu) | 龍門式 |
| 12 | 機床運動軸數(shù)&種類 | 最多8軸, X，Y, Z, &θ軸 |
| 13 | 平臺行程&速度 | 650mm×450mm |
| 1000mm/s | ||
| 14 | 運動平臺重復(fù)精度 | ≤±1μm |
| 15 | 運動平臺定位精度 | ≤±3μm |
| 軟件控制單元 | ||
| 16 | 激光加工&平臺控制 | Strongsoft, Strongcut |
| 17 | 加工文件導(dǎo)入格式 | Dxf, Plt, DWG, Gebar |
| 18 | CCD視覺定位軟件 | AISYS Vision |
| 19 | CCD視覺定位精度 | ≤±3μm |
| 電器單元 | ||
| 20 | PLC控制器 | Panasonic |
| 21 | 真空系統(tǒng) | 真空泵 |
| 22 | 除塵&集塵系統(tǒng) | 專業(yè)粉塵過濾集成凈化機 |
| 自動化單元 | ||
| 23 | 自動上下料系統(tǒng) | XZ軸+可移動上下料平臺 |
| 安裝環(huán)境 | ||
| 24 | 整機供電&穩(wěn)壓器功率 | 220V380V,6KW |
| 25 | 壓縮空氣壓強 | ≥0.6MPa |
| 26 | 無塵室等級 | 10000 |
| 27 | 地面承重 | 2T/m2 |
| 28 | 保護氮氣 | 高純氮 |
晶圓劃片效果圖：
為什么選擇韻騰激光：
的研發(fā)團隊
85%的公司員工擁有大專及以上學(xué)歷，技術(shù)研發(fā)人員占總?cè)藬?shù)的一半以上，其中研發(fā)骨干人員代表著行業(yè)內(nèi)水平。
豐富的行業(yè)經(jīng)驗
公司自2013年成立以來，風(fēng)雨兼程一路走來，憑借著的專業(yè)技術(shù)和強大的研發(fā)優(yōu)勢，成功的為近300家不同行業(yè)企業(yè)提供了激光設(shè)備及其應(yīng)用服務(wù)，積累了的豐富的行業(yè)經(jīng)驗。
一體化的解決方案
公司始終秉承以市場為導(dǎo)向，解決客戶實際需求為己任，多年來公司先后獨立開發(fā)完成 觸摸屏行業(yè) TP銀漿線+ITO自動定位蝕刻系統(tǒng)方案，F(xiàn)PC+PCB高精密自動送料切割系統(tǒng)等項目，為未來的發(fā)展打下了堅實的基礎(chǔ)！
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