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行業(yè)產(chǎn)品

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北京真空電子科技有限公司


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排氣臺自動化產(chǎn)線

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更新時間：2021-10-08 23:22:42瀏覽次數(shù)：272次

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產(chǎn)品簡介

設(shè)備用途及特點用于微波電真空器件排氣及后續(xù)工藝處理*的真空系統(tǒng)性能

詳細介紹

設(shè)備用途及特點

用于微波電真空器件排氣及后續(xù)工藝處理

*的真空系統(tǒng)性能，顯著提升電真空器件排氣質(zhì)量

系統(tǒng)設(shè)計緊密結(jié)合工藝，操作方便，工藝一致性好

自主研發(fā)的控制系統(tǒng)，排氣與后處理工藝程控執(zhí)行

完備的數(shù)據(jù)記錄和分析功能，為工藝改進和質(zhì)量追溯提供依據(jù)

設(shè)備規(guī)格參數(shù)
極限真空度：≤6×10-6Pa
工作真空度：≤5×10-5Pa
烘箱內(nèi)部尺寸：1100mm×600mm×450mm
升降高度：600mm
加熱溫度：550℃
全工藝過程自動化控制

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