適用范圍較廣的正性/負(fù)性電子束光刻膠

時(shí)間：2021-1-25閱讀：572

電子束光刻膠	型號(hào)	光源	類(lèi)型	分辨率	厚度（um)	適用范圍
	SU-8 GM1010	電子束	負(fù)性	100nm	0.1-0.2	可用于做高寬比較大的納米結(jié)構(gòu)。
	HSQ	電子束	負(fù)性	6nm	30nm~180nm	分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕。
	XR-1541-002/004/006	電子束	負(fù)性	6nm	30nm~180nm	分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕。
	HSQ Fox-15/16	電子束	負(fù)性	100nm	350nm~810nm	分辨率較好的光刻膠，抗刻蝕。
	PMMA(國(guó)產(chǎn))	電子束	正性	\	\	高分辨率，適用于電子束光刻工藝，較常用的電子束光刻正膠。
	PMMA（）	電子束	正性	\	\	MicroChem，分子量，適用于電子束光刻工藝，較常用的電子束光刻正膠。

光刻膠是光刻成像的承載介質(zhì)，其作用是利用光化學(xué)反應(yīng)的原理將光刻系統(tǒng)中經(jīng)過(guò)衍射、濾波后的光信息轉(zhuǎn)化為化學(xué)能量，進(jìn)而完成掩模圖形的復(fù)制。目前，集成電路生產(chǎn)中使用的光刻膠一般由聚合物骨架、光致酸產(chǎn)生劑或光敏化合物、溶劑，以及顯影保護(hù)基團(tuán)、刻蝕保護(hù)基團(tuán)等其他輔助成分組成。

光刻膠是微電子中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一，是近年來(lái)大規(guī)模和大規(guī)模集成電路的發(fā)展，更是大大了光刻膠的研究研究和應(yīng)用。印刷工業(yè)是光刻膠應(yīng)用的另一重要領(lǐng)域。1954 年由明斯克等人較貴先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸酯是用于印刷工業(yè)的，以后才用于電子工業(yè)。

光刻膠是一種有機(jī)化合物，它被紫外光曝光后，在顯影溶液中的溶解度會(huì)發(fā)生變化。硅片制造中所用的光刻膠以液態(tài)涂在硅片表面，而后被干燥成膠膜。

中文名：光刻膠

外文名：photoresist

別名：光致抗蝕劑

成分：感光樹(shù)脂、增感劑和溶劑

分類(lèi)：負(fù)性膠和正性膠

硅片制造中，光刻膠的目的主要有兩個(gè)：光刻膠原理，小孔成像；源頭，古老的相機(jī)；

（1）將掩模版圖形轉(zhuǎn)移到硅片表面頂層的光刻膠中；

（2）在后續(xù)工藝中，保護(hù)下面的材料（例如刻蝕或離子注入阻擋層）。

分類(lèi)：

光刻膠的復(fù)雜，品種較多。根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理，可分負(fù)性膠和正性膠兩類(lèi)。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠；反之，對(duì)某些溶劑是不可溶的，經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠。

利用這種性能，將光刻膠作涂層，能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形?；诟泄鈽?shù)脂的化學(xué)結(jié)構(gòu)，光刻膠可以分為三種類(lèi)型。

光聚合型

采用烯類(lèi)單體，在光作用下生成自由基，自由基再進(jìn)一步引發(fā)單體聚合，后生成聚合物，具有形成正像的特點(diǎn)。

光分解型

采用含有疊氮醌類(lèi)化合物的材料，經(jīng)光照后,會(huì)發(fā)生光分解反應(yīng),由油溶性變?yōu)樗苄裕梢灾瞥烧阅z。

光交聯(lián)型

采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料，在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開(kāi)，并使鏈與鏈之間發(fā)生交聯(lián)，形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而起到抗蝕作用，這是一種的負(fù)性光刻膠?？逻_(dá)公司的產(chǎn)品KPR膠即屬此類(lèi)。

含硅光刻膠

為了避免光刻膠線(xiàn)條的倒塌，線(xiàn)寬越小的光刻工藝，要求光刻膠的厚度越薄。

在20nm節(jié)點(diǎn)，光刻膠的厚度已經(jīng)減少到了100nm左右。但是薄光刻膠不能的阻擋等離子體對(duì)襯底的刻蝕。為此，了含Si的光刻膠，這種含Si光刻膠被旋涂在一層較厚的聚合物材料（常被稱(chēng)作Underlayer），其對(duì)光是不敏感的。曝光顯影后，利用氧等離子體刻蝕，把光刻膠上的圖形轉(zhuǎn)移到Underlayer上，在氧等離子體刻蝕條件下，含Si的光刻膠刻蝕速率遠(yuǎn)小于Underlayer，具有較高的刻蝕選擇性。

含有Si的光刻膠是使用分子結(jié)構(gòu)中有Si的有機(jī)材料合成的，例如硅氧烷，硅烷，含Si的丙烯酸樹(shù)脂等。

產(chǎn)品供應(yīng)：

產(chǎn)品名稱(chēng)	cas
1-丙烯酸金剛烷酯	121601-93-2
1-金剛烷基甲基丙烯酸酯	16887-36-8
丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯	7398-56-3
4-乙酰氧基苯乙烯	2628-16-2
1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯	216581-76-9
2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯	249562-06-9
2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯	303186-14-3
1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯	81665-82-9
2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環(huán)戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯	254900-07-7
甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[	34759-34-7
2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯	297156-50-4
2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯	251564-67-7
gamma-丁內(nèi)酯-3-基異丁烯酸酯	130224-95-2
N-異丙基甲基丙烯酰胺	13749-61-6
(9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯	583036-99-1
(5-氧代四氫-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯	156938-09-9
1-乙基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯	266308-58-1
1-異丙基-1-環(huán)己醇甲基丙烯酸酯	811440-77-4
2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯	31480-93-0
n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate	170216-64-5
2-(溴甲基)丙烯酸甲酯	4224-69-5
甲基丙烯酸-9-蒽甲酯	31645-35-9
2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[	347886-81-1
2-乙烯基萘	827-54-3
2-環(huán)己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯	186585-56-8
2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯	195000-66-9
丙烯酸甲基環(huán)戊酯	178889-49-1
丙烯酸1-乙基環(huán)戊酯	326925-69-3
2-氧代四氫-呋喃-3-基丙烯酸酯	328249-37-2
4-叔丁氧基苯乙烯	95418-58-9
4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸	69260-42-0
甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯	13695-31-3
3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene	16215-47-7
acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol	57142-64-0
1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯	157057-20-0
1-甲基環(huán)己基甲基丙烯酸酯	76392-14-8
2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯	1176273-16-7
2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯)	131787-39-8
1-甲基環(huán)戊基甲基丙烯酸酯	178889-45-7
1-乙基環(huán)己基甲基丙烯酸酯	274248-09-8
4-異丙基苯酚	4286-23-1
(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate	13818-44-5
乙酸-2-乙烯基苯基酯	63600-35-1
2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯	325991-26-2
1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate	51920-52-6
甲基丙烯酸四氫-呋喃-2-基酯	15895-80-4
oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate	52858-59-0
6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one	1267624-16-7
3-叔丁氧基苯乙烯	105612-79-1
2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯	13732-00-8
2,3-二羥基丙烯酸丙酯	10095-20-2
2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環(huán)氧乙烷	2653-39-6
3,5-二乙酰氧基苯乙烯	155222-48-3
2-(2,2-二氟乙烯基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷	123455-94-7
二苯基酰氯	1483-72-3
雙［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］鎓與三氟甲磺酸的鹽	84563-54-2
全氟丁基磺酸三苯基锍鹽	144317-44-2
雙(4-叔丁基苯基)氯化鎓	5421-53-4
TBPDPS-PFBS	258872-05-8
1二(4-叔丁基苯基)鎓全氟代丁烷磺酸鹽	194999-85-4
(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸	111281-12-0
N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸	85342-62-7
六氟二酐（6FDA)	1107-00-2
9,9-雙(3-氟-4-氨基苯基)芴 (FFDA)	127926-65-2
9,9-雙(4-氨基苯基)芴（FDA)	15499-84-0
4,4’-二氨基-2,2’-二甲基聯(lián)苯 (M-Tolidine)	84-67-3
2,2-雙(3-氨基-4-羥基苯基) 六氟丙烷	83558-87-6
1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯 (APB)	10526-07-5
4,4'-雙(4-氨苯氧基)聯(lián)苯(BAPB)	13080-85-8
1,3-雙(4-氨苯氧基)苯	2479-46-1
4,4-二氨基聯(lián)苯-2,2-二羧酸	17557-76-5
2,2'-雙(三氟甲基)-4,4'-二氨基苯基醚	344-48-9
ODA 4,4'-二氨基二苯醚	101-80-4
BAPP 2,2'-雙[4-(4-氨基苯氧基苯基)]丙烷	13080-86-9
TPE-Q 1,4-雙(4-氨基苯氧基)苯	3491/12/1
BPADA 雙酚A型二醚二酐	38103-06-9
BTDA 3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐	2421-28-5
BPDA 3,3',4,4'-聯(lián)苯四羧酸二酐	2420-87-3
CBDA 環(huán)丁烷四甲酸二酐	4415-87-6
DABA 3,5-二氨基苯甲酸	535-87-5
TFMB 2,2'-雙(三氟甲基)二氨基聯(lián)苯	341-58-2
A-BPDA 2,3,3',4'-聯(lián)苯四甲酸二酐	36978-41-3
BOAFL 9,9-二[(2,3-環(huán)氧丙氧基)苯基]芴	47758-37-2
TCA 四氫-1H-5,9-甲烷吡喃并[3,4-d]噁英-1,3,6,8(4H)-四酮	6053-46-9
ODPA 4,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐	1823-59-2
A-ODPA 3,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐	50662-95-8
HFBAPP 2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷	69563-88-8
4-溴-N-苯基咔唑	1097884-37-1
3,6-二溴-9-(2-乙基己基)-9h-咔唑	173063-52-0
N-(2-萘基)-3-溴咔唑	934545-80-9
1-溴-N-苯基咔唑	1333002-37-1
3,6-二叔丁基咔唑	37500-95-1
3,6-二溴咔唑	6825-20-3
1-溴咔唑	16807-11-7
2-溴咔唑	3652-90-2
2-氯咔唑	10537-08-3
2-羥基咔唑	86-79-3
3-溴咔唑	1592-95-6
3,6-二苯基-9H-咔唑	56525-79-2
4-溴-9H-咔唑	3652-89-9
3-苯基-9H-咔唑	103012-26-6
11,12-二氫-12,12-二甲基茚并[1,2-a]咔唑	1329054-41-2
9-(4-溴苯基)咔唑	57102-42-8
10-溴-7H-苯并[c]咔唑	1698-16-4
9-(3-溴苯基)-9H-咔唑	185112-61-2
9-(2-溴苯基)-9H-咔唑	902518-11-0
3-溴-N-苯基咔唑	1153-85-1
3,6-二溴-9-苯基咔唑	57103-20-5
3--9-苯基咔唑	502161-03-7
9-(1-萘基)-3-溴咔唑	934545-83-2
3-(4-溴苯基)-9-苯基-9H-咔唑	1028647-93-9
2-溴-9-苯基-9H-咔唑	94994-62-4
2-(2-氯-苯-基)-1H-苯并咪唑	3574-96-7
3,3'-聯(lián)咔唑	1984-49-2
3,9'-聯(lián)咔唑	18628-07-4
吲哚并[3,2-b]咔唑	241-55-4
吲哚并[3,2-b]咔唑	6336-32-9
5,11-二氫-11,11-二甲基茚并[1,2-b]咔唑	1260228-95-2
5,7-二氫-7,7-二甲基-茚并[2,1-b]咔唑	1257220-47-5
9-(4'-溴聯(lián)苯-4-基)-9H-咔唑	212385-73-4
4,4'-二(9-咔唑)聯(lián)苯	58328-31-7
5,12-二氫-12,12-二甲基茚并[1,2-c]咔唑	1346645-54-2
5,7-二氫-吲哚并[2,3-b]咔唑	111296-90-3
吲哚并[2,3-a]咔唑	60511-85-5
9H-咔唑-3-硼酸頻哪醇酯	855738-89-5
9-(4-苯基苯基)咔唑	6299-16-7
14H-苯并[c]苯并[4,5]噻吩并[2,3-a]咔唑	1313395-18-4
9-(2-萘基)-3,6-二溴咔唑	1221237-83-7
2,7-二溴咔唑	36630-39-2
2-苯基-9H-咔唑	88590-00-5
咔唑	86-74-8
9H-咔唑-3,6-二甲腈	57103-03-4
3,6-二咔唑	57103-02-3
3-氰基咔唑	57102-93-9
9,9'-二([1,1'-聯(lián)苯]-4-基)-3,3'-聯(lián)-9H-咔唑	57102-51-9
3-氯咔唑	2732-25-4
N-(3-聯(lián)苯基)-N-(4-聯(lián)苯基)-3,3-雙咔唑	1643479-47-3
5,7-二氫-5-苯基吲哚[2,3-b]咔唑	1448296-00-1
9'-苯基-9H,9H'-3,3'-咔唑	1060735-14-9
3,6-二乙氧基咔唑	1707264-12-7
9-苯基-9H,9H-3,3-咔唑	10607435-14-9
9-乙烯卡唑	1484-13-5

上述產(chǎn)品齊岳生物均可供應(yīng)！

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