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激光干涉儀原理

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產(chǎn)品型號SJ6000

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式:羅健查看聯(lián)系方式

更新時間:2018-05-15 16:03:43瀏覽次數(shù):788次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:86條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:羅健 (助理)

產(chǎn)品簡介

激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是*的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、

詳細(xì)介紹

一.SJ6000激光干涉儀概述

激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是*的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強(qiáng)、*穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合,得到不同的干涉信號,然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù),將數(shù)據(jù)通過計算機(jī)進(jìn)行顯示和動態(tài)分析。

二.SJ6000激光干涉儀功能

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、zui高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測,如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量,可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,具有*的精度和效率,而且及時處理數(shù)據(jù),為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

三.激光干涉儀原理

 

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

 

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