無油高真空系統(tǒng)，適合于高分辨率FE-SEM觀察前樣品鍍膜機(jī)TEM/EDX噴涂要求；也可應(yīng)用于制備多層膜樣品
*功能：金屬濺射鍍膜/輝光放電/蝕刻（樣品清潔）/碳絲蒸發(fā)鍍膜/碳棒蒸發(fā)鍍膜/金屬熱阻蒸發(fā)鍍膜/加裝液氮冷臺(tái)（適配EM VCT100)
*帶有金屬靶檔板，適用于特殊濺射靶材的預(yù)濺射，確保鍍膜純度
*可選配石英膜厚監(jiān)控器，可程序化控制膜厚，并反饋鍍膜儀
*樣品室尺寸：標(biāo)配?106mm,選配?205mm（可容納wafer 152mm/6"圓形或127mm/5"方形）
*操作簡單，帶有LED指示，機(jī)身印有操作說明
上海納騰儀器有限公司是一家專注于為微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為
全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供*的微納米科學(xué)儀器。
目前上海納騰已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供微納米科學(xué)儀器的企業(yè)，在微納加工儀器，微納表征儀器，微納儀器耗材，微納加工測試等相關(guān)領(lǐng)域，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售中、售后的服務(wù)。
徠卡高真空濺射鍍膜儀 Leica EM SCD500 產(chǎn)品信息
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