簡介

FT-NMT04納米機(jī)械測試系統(tǒng)是一種多功能的原位掃描電鏡/光纖納米壓頭，能夠準(zhǔn)確量化材料在微觀和納米尺度上的力學(xué)行為。

作為一個(gè)基于MEMS的納米壓頭，F(xiàn)T-NMT04基于專用的Femtotools微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)。利用二十多年的技術(shù)創(chuàng)新，這種原位納米壓頭具有的分辨率、重復(fù)性和動態(tài)響應(yīng)。 FT-NMT04原位納米壓頭用于金屬、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微觀結(jié)構(gòu)的力學(xué)測試。此外，通過使用各種附件，F(xiàn)T-NMT04的性能可以擴(kuò)展到各個(gè)研究領(lǐng)域的通用要求。 典型的應(yīng)用包括通過對微孔的壓縮試驗(yàn)或?qū)菢?biāo)本、薄膜或納米線的拉伸試驗(yàn)來量化塑性變形機(jī)制。此外，壓縮試驗(yàn)過程中的連續(xù)剛度測量可以量化微梁斷裂試驗(yàn)過程中的裂紋擴(kuò)展和斷裂韌性。由于500 pn和50 pm的低噪聲地板分別，F(xiàn)T-NMT04淺納米壓痕具有的重復(fù)性，以及納米壓痕與EBSD映射的相關(guān)性。

二、 功能

l 主要功能

FT-MNT04原位SEM納米壓痕儀，可以做納米壓痕、微柱壓縮測試、微懸臂梁斷裂測試、為拉伸測試、STEM/EBSD相關(guān)的原位納米機(jī)械測試。其中納米壓痕功能可以進(jìn)行低體積材料硬度和楊氏模量的測定、定 接觸力學(xué)和動力響應(yīng)的量化、多軸應(yīng)力下變形機(jī)理的表征；微柱壓縮測試功能可以進(jìn)行滑動系統(tǒng)臨界剪切應(yīng)力的測定、單軸應(yīng)力下變形機(jī)理的表征、延伸損傷和局部應(yīng)變量化；微懸臂斷裂測試功能可以進(jìn)行亞微米斷裂韌性連續(xù)J積分、單調(diào)循環(huán)斷裂行為的表征、單個(gè)裂紋產(chǎn)生和擴(kuò)展的量化。微拉伸測試功能可以進(jìn)行屈服應(yīng)力、極限拉伸應(yīng)力和斷裂伸長的測定、單調(diào)循環(huán)載荷下斷裂的表征、局部應(yīng)變效應(yīng)和裂紋擴(kuò)展的量化；STEM/EBSD相關(guān)的原位納米機(jī)械測試功能可以進(jìn)行局部應(yīng)變的定量研究、相變的定量研究、紋理演化的定量研究、位錯(cuò)動力學(xué)定量研究、晶界遷移的定量研究 。

l 技術(shù)特點(diǎn)

納米壓痕、壓縮、張力、斷裂和疲勞試驗(yàn)

無需復(fù)合、動態(tài)校準(zhǔn)即可進(jìn)行連續(xù)硬度測量或疲勞測試

高溫測試溫度可達(dá)400℃

壓頭面積函數(shù)和框架合規(guī)性的簡單確定

功率數(shù)據(jù)分析工具，用于評估測量結(jié)果和擬合功能計(jì)算材料性能

可快速安裝和移除SEM腔室

緊湊，模塊化的設(shè)計(jì)能夠集成到幾乎所有的掃描電鏡中

可定制測量程序

l 技術(shù)能力

力感測

-力：200 mN

-力噪聲地板：0.5 nN（10 Hz時(shí)）

-測量頻率高達(dá)96 kHz

位移傳感（粗）

-位移范圍：21 mm

-位移噪聲：1nm（10Hz）

-測量頻率：50Hz

位移傳感（精細(xì)）

-位移范圍：25μm

-位移噪聲：0.05nm（10Hz）

-測量頻率高達(dá)96 kHz

3、4和5軸力傳感器與樣品對準(zhǔn)

-X、Y、Z閉環(huán)定位范圍：21mm x 12mm x 12 mm

-X、Y、Z閉環(huán)定位噪聲：1nm

-樣品傾斜范圍：90°

-樣品旋轉(zhuǎn)范圍：360°(FT-NMT04-XYZ-R)，180°(FT-NMT04-XYZ-RT)

-樣品角噪聲：35微度