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RHH系列射頻電源

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱四川英杰電氣股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地德陽市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/10/24 14:00:29
  • 訪問次數(shù)282
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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四川英杰電氣股份有限公司成立于1996年,是專業(yè)的工業(yè)電源設(shè)計(jì)及制造企業(yè),于2020年2月13日在深交所創(chuàng)業(yè)板上市,代碼:300820。公司是國家企業(yè)、國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢(shì)企業(yè)、國家專精特新“小巨人”企業(yè)、四川省百家優(yōu)秀民營企業(yè)。公司位于“中國重大技術(shù)裝備制造業(yè)基地”——四川省德陽市,占地80余畝。二十多年來,公司始終以自主研發(fā)、持續(xù)創(chuàng)新為核心,專注于以功率控制電源、特種電源為代表的工業(yè)電源設(shè)備的研發(fā)制造,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石油、化工、冶金、機(jī)械、建材等傳統(tǒng)行業(yè)以及光伏、核電、半導(dǎo)體、環(huán)保等新興行業(yè)。
電源
RHH系列射頻電源依靠成熟的射頻發(fā)生技術(shù)為基礎(chǔ),為客戶提供更大的功率、精度更高、響應(yīng)快速的射頻電源。具有相位可設(shè)、脈沖可控、數(shù)字調(diào)諧等功能。適用領(lǐng)域:光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、化工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、科研、制造業(yè)等。適用工藝:等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴(kuò)散、等離子體聚合濺射、反應(yīng)濺射等。
RHH系列射頻電源 產(chǎn)品信息

● 半磚和機(jī)架式安裝方式

● 采用全數(shù)字控制,具有便捷和豐富的操作菜單

● 頻率調(diào)諧、脈沖和脈沖同步功能

● 具備CEX相位同步功能

● 完善保護(hù)功能

輸入

輸入電壓:AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(特殊規(guī)格可定制)

輸入頻率:47~63Hz

輸出

輸出頻率: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz

調(diào)諧范圍:±5%

輸出功率:1.5~5kW

輸出功率調(diào)節(jié)范圍:1~99%

輸出阻抗:50Ω+j0

輸出接口:N型

輸出模式:連續(xù)、脈沖

脈沖頻率:100Hz~100kHz

占空比: 5~95%

性能指標(biāo)

功率因數(shù):0.98

頻率穩(wěn)定精度:±0.005%

效率:75%(額定輸出時(shí))

諧波:<-45dBc

雜散:<-50dBc

外部控制接口:模擬量、通訊、同步

通信方式:標(biāo)配RS485通訊接口;可選Ether CAT、工業(yè)以太網(wǎng)等

注:產(chǎn)品不斷創(chuàng)新,性能繼續(xù)提升,本參數(shù)說明僅供參考。

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