● 全數(shù)字控制,匹配精度高,匹配時間短
● 采用真空電容,可靠性高,使用壽命長
● 結構緊湊,體積小,安裝便捷
● 超寬匹配范圍,可定制適配任意負載
● 具有手動/自動匹配功能
● 具有保持和預置設定功能
● 具有通訊功能,可獨立連接上位機實時顯示負載狀態(tài)
輸入 | 控制電壓:AC230V±10% 或 DC24V | 輸入接口:N型、HN、7/16 |
頻率:13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz | 傳輸功率:1.5kW~6kW | |
射頻輸出電壓:4000Vpeak | 射頻輸出電流:25Arms~120Arms | |
輸出 | 輸出接口:7/16、B20N、銅排, 其他規(guī)格可定制 |
|
性能指標 | 匹配時間:A系:端對端<5s ,預設點到匹配點 1s~3s | 駐波:A系:<1.2 C系:<1.1 |
阻抗實部:1Ω~200Ω | 阻抗虛部:+200j~-200j | |
負載類型:IPC 或CCP | 外形尺寸:根據(jù)客戶要求定制 | |
注:產(chǎn)品不斷創(chuàng)新,性能繼續(xù)提升,本參數(shù)說明僅供參考。 |