金屬四探頭電阻率方阻測試儀 - HS-MPRT-4

用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。

本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率（電壓表）的同時，另一塊數(shù)字表（電流表以千分之二的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關，在測量某些箔層材料時，在探頭壓觸樣品后再接通恒流源可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護薄膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。
金屬四探頭電阻率方阻測試儀- 產(chǎn)品特點
■ 采用金屬探頭，游移率小，穩(wěn)定性高。
■ 適用于西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)”
■ 適用于物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)
■ 適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業(yè)
■ 具有抗強磁場和抗高頻設備的性能
- 技術指標
■ 電阻率：0.001～1999Ω·cm
■ 方塊電阻：0.01～19000Ω/口
■ 直流數(shù)字電壓表 測量范圍：0～199.9mv

                   靈敏度：100μv

準確度：0.2%（±2個字）

 ■ 恒流源：       輸出電流：DC 0.01～100mA   四檔連續(xù)可調(diào)

                   量程：0.01～0.10mA, 0.10～1.0mA,1.0～10mA, 10～100mA

恒流精度：各檔均不低于±0.05%