KD系列氣浮導(dǎo)軌,具備高精度、高剛度、大承載、非接觸、無摩擦、高速度、運動可靠、無振動的優(yōu)點,主要應(yīng)用于精密測量設(shè)備、無摩擦運動試驗設(shè)備、空間模擬試驗裝置、半導(dǎo)體加工設(shè)備、多軸氣浮平臺等高精度無振動場合;可根據(jù)客戶技術(shù)要求定制非標產(chǎn)品。
技術(shù)參數(shù)
項目 | 技術(shù)規(guī)格 |
行程 | ≦2000mm |
承載 | 500kg |
剛度 | 300N/um |
運動精度 | ≦0.5um/100mm |
供氣壓力 | 0.4—0.8Mpa |
工作氣壓 | 0.35—0.45 Mpa |
定軌材料 | 花崗巖 |
環(huán)境溫度 | -20—50℃ |