防振臺 AVI-600S為隔振臺/輪廓儀隔振臺系統(tǒng)，高精密儀器隔振臺設(shè)備，高分辨率顯微鏡隔振臺系統(tǒng)，原子力顯微鏡隔振臺，隧道顯微鏡隔振系統(tǒng)，微納加工精密儀器主動隔振臺設(shè)備，超低頻隔振臺，低頻隔振，響應(yīng)時間快。主動隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz，被動隔振頻率>200Hz。
產(chǎn)品描述：
防振臺-主動減震臺-隔震臺AVI-600S是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動，以提高精密設(shè)備的性能，具有的性能及通用性。該隔振臺的主動隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz，被動隔振頻率>200Hz，其能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備中，主動檢測輸入振動并動態(tài)消除；允許自由選擇整個系統(tǒng)的尺寸和配置，可通過增加隔振模塊的數(shù)量來支持更大的儀器載重量。安裝簡單，易操作，穩(wěn)定性高，能連續(xù)使用多年！
為各類光學(xué)顯微鏡主動防振臺-干涉儀主動防震臺-電子天平防振臺-輪廓儀防震臺-半導(dǎo)體設(shè)備主動防震臺-激光設(shè)備防振臺-微納加工精密儀器防振系統(tǒng)。優(yōu)點：六軸方向自由度隔防振臺，超低頻負剛度防震臺，高負載主動防震臺。
工作原理：
AVI-600S主動減震臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生的振動隔離狀態(tài)。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
AVI系列主動減震臺-隔震臺采用*的隔振技術(shù)，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。AVI系列平臺利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O(shè)備如電鏡，光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
產(chǎn)品亮點： - 六個空間方向自由隔振(0.5Hz – 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)
- 5-20ms響應(yīng)時間
- 低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單
- 系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除
- 緊湊、模塊化的多功能設(shè)計
- 穩(wěn)定性高，能連續(xù)使用多年
- 無低頻共振、無空氣要求
應(yīng)用范圍：
- 超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）
- 光刻工具
- 高精度計量工具
- 光譜儀器
技術(shù)參數(shù)：
- 型號：AVI-600S/LP
- 系統(tǒng)配置：獨立隔振裝置 & 控制裝置
- 主動隔振范圍：大致為1.0 Hz – 200 Hz
- 被動隔振范圍:大致為200 Hz以上
- 顯示屏信號:多路復(fù)用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。
- LEDs 指示輸出階段的過載情況。
- 單元尺寸(每個):288 x 396 x 112.5 Hmm
- 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
- 隔振單元重量: 23kg
- 負載能力:1200 kg (同等/低重心)
- 輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
- 功耗：通常27W
- 校正力：水平12N，垂直24N
- 系統(tǒng)噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
- 靜態(tài)柔度：垂直約1µm/N，水平約2 µm/N
- 溫度范圍：5℃ – 40℃
- 相對濕度：10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
- 室內(nèi)/室外使用：僅用于室內(nèi)
升級選項：
- AVI 600S 隔震臺可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
隔振效果：
性能對比圖：AFM 的研究人員在兩種條件下進行成像： 不含隔振系統(tǒng)和包含TS 系列防振臺。當使用TS系列隔振臺搭載AFM時，所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測量清晰度得到大幅提升。
