深圳市托理拆利機(jī)電設(shè)備有限公司是英國Edwards愛德華真空泵shou權(quán)代理商，為客戶24小時(shí)提供技術(shù)支持及售后服務(wù)，針對(duì)各個(gè)行業(yè)工藝端設(shè)計(jì)提供適合的負(fù)壓真空系統(tǒng)解決方案，為光伏真空設(shè)備、科研真空設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室真空設(shè)備、科學(xué)儀器真空設(shè)備、半導(dǎo)體真空設(shè)備、鋰電池真空設(shè)備、工廠高真空設(shè)備、學(xué)校高真空設(shè)備提供優(yōu)化的真空解決方案。技術(shù)服務(wù)：1,3,8,二,3,七,八,8,3,8,零。

光伏拉晶真空泵、電池鍍膜、組件層壓愛德華SL800爪式真空泵應(yīng)用

需求背景：光伏行業(yè)真空泵；用于拉晶工藝、電池鍍膜、組件層壓等。

隨著光伏行業(yè)的發(fā)展，真空泵為光伏設(shè)備關(guān)鍵部件，設(shè)備中的真空穩(wěn)定性是工藝穩(wěn)定的關(guān)鍵技術(shù)之一；光伏用真空泵主要為干式真空泵、螺桿真空泵、爪式真空泵與羅茨真空泵；真空泵主要應(yīng)用于硅片拉晶，電池片高方阻擴(kuò)散（低壓擴(kuò)散爐）和PVD、PECVD鍍膜工藝，組件層壓環(huán)節(jié)等。光伏電池主要分為：硅料制程、硅片制程、電池片制程和組件制程。

根據(jù)某光伏行業(yè)實(shí)際項(xiàng)目需求，深圳市托理拆利機(jī)電設(shè)備有限公司推薦選用了Edwards愛德華SL800爪式真空泵、GXS系列、iXH系列真空泵，用于光伏拉晶環(huán)節(jié)與電池片環(huán)節(jié)。

Edwards SL800爪式真空泵該真空泵適用于超嚴(yán)苛制程工藝，主要表現(xiàn)在內(nèi)部結(jié)構(gòu)沿用了 iXH 系列干泵類似設(shè)計(jì)如爪式干泵、大扭力電機(jī)、氮?dú)獯祾摺?多種通訊方式支持等特性，有效處理工藝帶來的殘留氣體和副產(chǎn)物對(duì)泵的影響，確保泵的長時(shí)間穩(wěn)定工作，SL800(X) 型號(hào)作為 800m3/hour 級(jí)別抽速的高溫泵類型，針對(duì)于 PECVD Nitride （SiH4+NH3）鍍膜工藝，也可應(yīng)用于 LPCVD、ICP Etch 等工藝上； SL800X 相對(duì)于 SL800 增加了內(nèi)部加熱帶，可進(jìn)一步提高泵內(nèi)部溫度，適合 Metal/PSS etch 等工藝，可有效防止副產(chǎn)物冷凝。

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