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■美國Transcell傳感器系列詞

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自主研發(fā)一系列微納傳感器

在智慧城市中，傳感器就是“五官”和“皮膚”，29048704承擔(dān)著感知并獲取環(huán)境中一切信息數(shù)據(jù)的功能，并追求在更小的器件空間內(nèi)集成大的“感官功能”。作為集成電路器件的延伸，各類新型傳感器芯片如微型壓力傳感器、加速度傳感器等，通常都包含可動的微小機構(gòu)，需采用*加工手段，精度甚至達到頭發(fā)絲直徑的百分之一。梅特勒托利多SB-10T稱重傳感器目前，我國高價值傳感器主要依賴進口，國產(chǎn)器件*小且多處于低端。

上海交大電子信息與電氣工程學(xué)院有一支40多名師生組成的微納集成制造技術(shù)團隊，*從事基于微機電系統(tǒng)（MEMS）的高性能傳感器研發(fā)。團隊負責(zé)人丁桂甫介紹，在傳統(tǒng)集成電路硅材料的微加工技術(shù)之上，通過工藝兼容，合理引入金屬、聚合物、陶瓷、碳基等多種類型的敏感材料和功能材料，就能豐富和發(fā)展微納集成的技術(shù)內(nèi)涵。進入學(xué)院的微米納米加工技術(shù)重點實驗室，基于這樣的微米納米級“智能工廠”，各類非硅材料在傳感器芯片中被高精度集成。他們*建立多元兼容的集成制造技術(shù)體系，成功開發(fā)出一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的微納傳感器。

為航空發(fā)動機研制提供支撐

我國大型客機C919已成功上天，但如何真正擁有屬于自己的大飛機“心臟”——航空發(fā)動機，仍是擺在國人面前的一道難題。其中，對航空發(fā)動機葉片設(shè)計優(yōu)化所需的高溫原位檢測技術(shù)，需求為迫切。上主要航空發(fā)動機制造商早在上世紀80年代就開展相關(guān)研究，國內(nèi)在這方面亟須突破。

對此，上海交大微納集成制造技術(shù)團隊內(nèi)重要的航空發(fā)動機研制單位，將傳感器的*設(shè)計制造技術(shù)應(yīng)用于高溫傳感器研制，重點解決耐高溫合金材料的兼容集成工藝難題。雙方聯(lián)合攻關(guān)，對特種加工設(shè)備數(shù)十次改造，梅特勒托利多SB-10T稱重傳感器加之無數(shù)次的工藝優(yōu)化實驗，終于成功研制出可在發(fā)動機葉片表面上原位集成的薄膜型高溫傳感器，其敏感結(jié)構(gòu)的厚度不及頭發(fā)絲的五分之一，幾乎不會對空氣動力特性產(chǎn)生影響。其檢測溫度上限可達1200攝氏度，有望滿足目前航空發(fā)動機研制的迫切需求。丁桂甫說：“相信隨著研發(fā)深入，更高監(jiān)測溫度和更高穩(wěn)定性的原位集成薄膜溫度傳感器，會為*航空發(fā)動機研制提供支撐。”

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建專業(yè)技術(shù)平臺服務(wù)社會企業(yè)

*如何推向產(chǎn)業(yè)應(yīng)用？這支技術(shù)團隊在市科委支持下建立起“非硅微納集成制造專業(yè)技術(shù)服務(wù)平臺”，面向社會開展技術(shù)推廣。

在一家專業(yè)從事糖尿病診療設(shè)備開發(fā)的科研科技公司，微納集成制造技術(shù)團隊在其創(chuàng)建初期就協(xié)助完成動態(tài)血糖傳感器電極初始原型的樣品研制，承擔(dān)了柔性電極小批量制造工藝優(yōu)化和批量制造成套技術(shù)開發(fā)。他們指導(dǎo)企業(yè)建成投資3000萬元的植入式微針電極生產(chǎn)工藝線，微針電極核心技術(shù)指標達同期產(chǎn)品的*水平。

【蘭瑟★電子】是國內(nèi)規(guī)模較大、品種較齊全的進口傳感器一級代理商，主要銷售美國Transcell傳感器,稱重傳感器、壓力傳感器、位移傳感器，品牌包括美國Transcell，美國Celtron,美國Nobel,美國Tedea-Huntleigh（Tedea現(xiàn)貨供應(yīng)），等世界*公司。