D500系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器參數(shù)表可定做分體式耐高溫100℃的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器)
D500系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/氣體質(zhì)量流量控制器由氣體質(zhì)量流量傳感器( 氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器還包括電磁調(diào)節(jié)閥)、 信號(hào)線電源線、氣體質(zhì)量流量顯示儀(氣體質(zhì)量流量顯示控制儀)等構(gòu)成。
項(xiàng)目型號(hào)
流量范圍:0~2, 0~5, 0~10, 0~20, 0~30, 0~50, 0~100, 0~ 200, 0~300, 0~500SCCM
0~1,0~2, 0~3s,0~5,0~ 10,0~ 20, 0~30,0~ 50, 0~ 100, 0~150, 0~200, 0~250, 0~300, 0~500, 0~ 1000, 0~1500, 0~2000SLM
準(zhǔn)確度%FS:±1.0%FS, ±1. 5%FS, ±2.0%FS
性能:量程比50:1,重復(fù)性±0.2%FS,響應(yīng)時(shí)間1~4s
工作壓差:0.05~0.3MPa. 0. 3-0. 5MPa. 其他定制
耐壓MPA:3、10、15 定制25MPa
介質(zhì)溫度:5~55
輸出信號(hào):0~5VDC. 4-20mA RS232
電源:±15VDC/50mA、24VDC/300mA 、220VAC 電源插頭
外形尺寸:158 x 30x128 ,185x45x145不等
氣路連接:3, 6. 8.10mm雙卡套 swagelok1/4",3/8"接頭,VCR接頭1/4",3/8"等
重量:1.2、2.5、4、6、10不等
以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下(0℃ 101325Pa)氮?dú)膺M(jìn)行標(biāo)定,其他氣體乘以轉(zhuǎn)換系數(shù)或者按用戶氣體進(jìn)行標(biāo)定