兆歐表的使用和材料的導(dǎo)電性能的測量
一、測量項(xiàng)目
1、與導(dǎo)電性相關(guān)的測量項(xiàng)目：點(diǎn)對點(diǎn)電阻/表面電阻/體積電阻（resistance of poingttopoint/surface resistance/ volume resistance）
2、電阻率測量：用于評價材料特性：表面電阻率（surfaceresistivity）體積電阻率：volumeresistivity）
二、有關(guān)材料導(dǎo)電性的幾個基本概念
1、表面電阻（surface resistance）：電壓與表面泄漏電流的比值。單位：Ω
2、體積電阻（volume resistance）：電壓與體內(nèi)電導(dǎo)電流的比值。單位：Ω
3、表面電阻率（surfaceresistivity）：單位寬度、單位長度材料的表面電阻值：單位：Ω/□
4、體積電阻率（volume resistivity）：單位截面單位長度上材料的體積電阻。單位：Ω.m 或Ω.cm
三、測量標(biāo)準(zhǔn)和測量電極、測量儀器的要求
●測量標(biāo)準(zhǔn)
1、IEC61340-2-3電阻特性測量：靜電耗散材料，表面平整的特體的測量
2、ANSI/ESD STM11.11表面電阻、表面電阻率的測量
3、ANSI/ESD STM11.12體積電阻、體積電阻率的測量
4、ANSI/ESD STM11.13點(diǎn)對點(diǎn)電阻測量
●測量電極要求
1、電極：與測試表面接角的材料須是導(dǎo)電材料體積電阻率小于1000Ω.cm，硬度在50-70ShoreDuroneter
2、電極形狀及要求：三種電極
3、電極重量：2.27KG±56.7G（重錘式）
4、樣品支撐物表面電阻10的13次方以上
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