靜電荷存在的影響
一、概述
靜電荷的存在除了增加以晶片形式表現(xiàn)的管芯突然失效的因素外，還有許多附架效應(yīng)和塵埃污染。
二、塵埃污染
塵埃可以相當有效地從空氣中被濾除，然而不能從半導(dǎo)體晶片的環(huán)境中清除它們。幾乎在晶片制造的每個工序上塵埃是同樣發(fā)生的。人體右能是zui大的一個塵埃來源，如衣服上掉下來的纖維屑、頭發(fā)或死掉的表皮。破碎的晶片是另一個塵埃來源。任何時候一個表面被另一個表面擦過，都會發(fā)生一些塵埃。石英晶片舟滑入石英管中，晶片從一個載體傳送到另一個載體時，塑料盒打開或關(guān)閉時都可能產(chǎn)生塵埃。即使是空氣過濾器本身也可能掉下纖維屑。
三、塵埃帶電
塵埃不可能從晶片制造中被*消除。然而，有一個經(jīng)常被忽略的與塵埃相關(guān)的效應(yīng)。空氣中的大多數(shù)塵埃被靜電充電。當塵埃zui初脫離它所依附的材料時，這種靜電荷可能產(chǎn)生，或都當它被子吹過一個表面時，它可能獲取電荷。
由于懸浮在空氣中的塵埃是移動的并且是多荷電粒子，它將對其遇到的任何靜電場起反應(yīng)。任何靜電帶電表面都可提供這種靜電場。靜電電壓越高則靜電場院越強。充電的塵埃會被具有相同極性的帶電表面所排斥但被不同極性的帶電表面所吸引。如果塵?；蛘弑砻娑咧杏幸粋€是絕緣體，在碰撞時塵埃將不會被中和而是將吸附于表面上。
無論是晶片還是防護罩，都可能作為這樣一個帶電的表面。由于在半導(dǎo)體制造區(qū)內(nèi)發(fā)現(xiàn)的大多數(shù)塵埃都是非導(dǎo)體，并且在大多數(shù)制造工序中半導(dǎo)體表面的大部分被氧化膜所覆蓋，塵埃被帶電的晶片或防護罩的靜電場所吸引勢必成為附著的狀態(tài)。這種表龜吸引力和通過壓縮空氣或氮氣的氣流可能施加于這些微細塵埃上的力相比還是值得注意的。甚至去離子水不能移去這樣的一些塵埃。通常的自來水是導(dǎo)電的，它足以中和靜電電荷，然而去離子水是一種絕緣物體。
