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行業(yè)產(chǎn)品

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北京市卓川電子科技有限公司


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多功能微波等離子體實(shí)驗(yàn)裝置

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)WD.54-2004

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:楊經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2016-02-29 16:05:26瀏覽次數(shù):135次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:9024條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:楊經(jīng)理 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

多功能微波等離子體實(shí)驗(yàn)裝置由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔組成;由微波源產(chǎn)生頻率為2.45GHz
的微波,沿矩形波導(dǎo)管傳輸,在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵(lì)氣體形成軸對(duì)稱的等離子體球。

詳細(xì)介紹

由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔組成;由微波源產(chǎn)生頻率為2.45GHz 
的微波,沿矩形波導(dǎo)管傳輸,在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵(lì)氣體形成軸對(duì)稱的等離子體球。 

    可完成以下實(shí)驗(yàn):微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備多種功能薄膜材料、微波等離子體刻蝕加工實(shí)驗(yàn)、材料表面改性和清洗等;適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師科學(xué)研究。 

獲國(guó)家實(shí)用新型:ZL 2006 2 0102055.4 
榮獲2008年全國(guó)高校物理實(shí)驗(yàn)儀器評(píng)比二等獎(jiǎng)

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