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俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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更新時間:2024-05-16 10:09:58瀏覽次數(shù):117次

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聯(lián)系人:高先生

產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng),又稱俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表面深度分析系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

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俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)




俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng),又稱俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表面深度分析系統(tǒng)?;诙硇娮幽茏VAES、低能電子衍射LEED、及氬離子濺射深度分布的分析系統(tǒng),完成對薄膜及合金的元素組成和深度分布的分析。





非接觸式測量薄膜及合金元素組成。
帶樣品預(yù)抽真空室 (load-lock腔室)。

特性:
-對原子結(jié)構(gòu),元素組成和厚度分析達(dá)到“亞納米級”精度
-大范圍樣品分析
-半自動化操作


系統(tǒng)特性
俄歇電子能譜AES分析器
分析器型號-延遲型區(qū)域分析器,自帶同軸電子槍
能量分辨率:<5%
工作距離 10mm
檢測器: 1e7至1e8增幅范圍的電子倍增器通道
安裝法蘭-4.5英寸O.D.標(biāo)準(zhǔn)CF法蘭(NW63CF)

電子槍:
型號 :帶可調(diào)焦距和束斑直徑的雙靜電透鏡
束流電壓:0-3KV
束流電流:50uA
束流直徑:800um
燈絲:鎢燈絲
磁罩:帶前置保護(hù)殼的Mu罩

深度離子濺射槍
離子源  在磁場內(nèi)電子沖擊形成離子
離子化陰極  鎢-錸燈絲
直接安裝于70mmO.D.CF法蘭
束流電流:10 uA
束流能量:0-3keV
束流尺寸;直徑范圍5至25mm
束流均勻度:<5%
氣體輸入:經(jīng)過泄漏閥氣體直接輸入至離子源
安裝法蘭:23/4英寸(70mm)O.D.CF法蘭

樣品傳遞操作
樣品尺寸:尺寸從10mm-20mm
樣品置入:單個樣品置入
樣品傳輸:線型磁動樣品傳輸臂

真空系統(tǒng)
腔體:100mm焊接超高真空腔體(304不銹鋼)
真空泵:60L/sec離子泵和50l/sec的分子泵,配備匹配的前級泵
真空規(guī):寬量程真空規(guī)

真空兼容:超高真空材料
烘烤:真空下可烘烤至250度










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