晶圓預(yù)對準(zhǔn)是晶圓搬運(yùn)以及整個(gè)IC制造過程中的重要環(huán)節(jié),晶圓的定位與識(shí)別都需要Pre-aligner的參與。晶圓預(yù)對準(zhǔn)的目的是計(jì)算晶圓的偏心并找到其缺口,進(jìn)而補(bǔ)償其偏心并將缺口轉(zhuǎn)至一預(yù)設(shè)方向,為下一步的晶圓識(shí)別或處理做好準(zhǔn)備。新松Pre-Aligner具有定位精高、對準(zhǔn)速度快等優(yōu)點(diǎn)，大大縮短了晶圓的傳輸與處理時(shí)間，提高了晶圓的生產(chǎn)效率。

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