產(chǎn)品簡介：光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實(shí)際原位在線監(jiān)測并實(shí)時(shí)反饋測量物性數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品型號

SE-i 光譜橢偏儀

技術(shù)參數(shù)

1、自動化程度：固定變角

2、應(yīng)用定位：原位定制型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S等光譜

4、分析光譜：380-1000nm，支持按需定制化

5、單次測量時(shí)間：0.5-5s

6、重復(fù)性測量精度：0.01nm

7、入射角范圍：65°（支持定制）

關(guān)鍵詞：橢偏儀

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，智慧城市網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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