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行業(yè)產(chǎn)品

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浚和（上海）儀器有限公司


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YAMATO等離子清洗機PDC200/210/510 RIE·DP模式、平行平板電極

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間：2025-05-16 09:39:35瀏覽次數(shù)：49次

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商鋪產(chǎn)品：127條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

詳細介紹

小型桌上型高頻等離子表面處理裝置。

■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-300W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?br>
■ 安全性·保護
● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。

■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。





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