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行業(yè)產(chǎn)品

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北京英格海德分析技術(shù)有限公司


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Hiden HPR30過程氣體分析質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間:2024-01-04 18:49:21瀏覽次數(shù):211次

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產(chǎn)品簡介

Hiden HPR30過程氣體分析質(zhì)譜儀適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。

詳細(xì)介紹

Hiden HPR30過程氣體分析質(zhì)譜儀技術(shù)參數(shù):
HPR-30真空過程氣體分析系統(tǒng)(Process Gas Analyser),適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。

應(yīng)用:
   · CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD 
   · 真空涂覆/ 等離子刻蝕
   · 沉積濺射
   · 污染物研究
   · 基本壓力辨別
   · 泄漏探測/ 實(shí)質(zhì)泄漏/脫附分析
   · 除氣/烘烤/泵效能
   · 反應(yīng)室/過程氣體污染物

Hiden HPR30過程氣體分析質(zhì)譜儀 特點(diǎn):
   · 簡潔的桌上型,移動(dòng)推車或控制臺(tái)架結(jié)構(gòu)
   · Direct re-entrant流孔板,差式泵,以達(dá)到適宜的靈敏度
   · 連續(xù)取樣從10-4mbar至1mbar. 
   · 高靈敏度(可至5ppb),質(zhì)量數(shù)可選至1000amu
   · 軟離子化技術(shù),分析復(fù)雜有機(jī)物,或表觀MS研究
   · 穩(wěn)定性好(24h之上,峰高變化小于±0.5%) 
   · MASsoft軟件控制,或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個(gè)系統(tǒng)控制
   · 氣動(dòng)閥自動(dòng)控制;出現(xiàn)電力不足或壓力過大等不安全狀況時(shí)可啟用手動(dòng)隔離裝置
   · 自動(dòng)、同時(shí)數(shù)據(jù)取得、分析,實(shí)時(shí)顯示、報(bào)警

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