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nGauge便攜式原子力顯微鏡

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產(chǎn)品型號(hào)nGauge

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2025-05-12 12:34:19瀏覽次數(shù)：32次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

nGauge原子力顯微鏡作為一臺(tái)單芯片（Single-Chip）AFM，是加拿大滑鐵盧大學(xué)(DARPA聯(lián)合項(xiàng)目)近十年的研發(fā)成果。Single-Chip技術(shù)通過(guò)CMOSMEMS工藝將AFM的所有組件（精細(xì)XYZ運(yùn)動(dòng)和納米級(jí)感測(cè)）集成到單個(gè)1mm x 1 mm的芯片上，減少了對(duì)大功率及垂直檢測(cè)激光對(duì)準(zhǔn)設(shè)備的需求，極大提升了設(shè)備自身的抗震性能、掃描速率、掃描精度，實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)、高效、便捷的原子力掃描。

可以用于納米級(jí)三維結(jié)構(gòu)的量測(cè)，表面粗糙度的檢測(cè)，膜厚、臺(tái)階測(cè)試，相位測(cè)試等。

主要功能
形貌表征：三維結(jié)構(gòu)量測(cè)：Z>1nm
臺(tái)階高度：1nm~10um
表面粗糙度檢測(cè)：>1nm
相位測(cè)試



 國(guó)內(nèi)用戶（排名不分先后）


  • 南京大學(xué)
  • 同濟(jì)大學(xué)
  • 中科院微電子研究所
  • 合肥物質(zhì)研究院
  • 復(fù)旦大學(xué)
  • 東華大學(xué)
  • 天津大學(xué)




相關(guān)文獻(xiàn)


  1. N. Sarkar and R. Mansour, “CMOS-MEMS atomic force microscope," Transducers 2015
  2. D. Strathearn, G. Lee, N. Sarkar, M. Olfat and R. R. Mansour, "A distortion-free single- chip atomic force microscope with 2DOF isothermal scanning," 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), Anchorage, AK, 2015, pp. 2113- 2116.
  3. N. Sarkar, D. Strathearn, G. Lee, M. Olfat, and R. R. Mansour, “A 0.25MM3 ATOMIC FORCE MICROSCOPE ON-A-CHIP," MEMS 2015, pp. 732–735, 2015.




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