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蘇州中科科美科技有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
聯(lián)系方式:曹夢茹查看聯(lián)系方式
更新時間:2024-09-28 11:32:01瀏覽次數(shù):448次
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產(chǎn)品描述
具有熱蒸發(fā)和電子槍蒸發(fā)鍍膜功能,同時還具有磁控濺射鍍膜功能。一臺設備具有多種功能。
該設備主要配備左熱蒸發(fā)室、右電子槍室、磁控濺射室等。其中左熱蒸發(fā)室用于各種金屬、有機物的真空鍍膜(難熔金屬除外);電子槍室用于難熔金屬、非金屬材料以及高純度薄膜的真空蒸鍍;磁控濺射室用于制備可以做成靶材的金屬,金屬氧化物、碳化物、合金等的薄膜。
技術參數(shù)
1.極限真空壓力:8×10-5 Pa
2.磁控靶直徑(mm):50
3.恢復真空抽氣時間(min):<20
4.左熱蒸發(fā)室:Φ500×400
5.右電子槍、磁控濺射室:Φ500×500,手動氣彈簧上開蓋
6.坩堝容積:40ml
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