您知道涂膠機(jī)的重要性嗎
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。
由于社會(huì)行業(yè)分類很多，大家對(duì)膠的處理與使用方法也不同，雖然叫做涂膠機(jī)的設(shè)備很多，但其同名下也有根本的區(qū)別，而最明顯的區(qū)別在于
它們所涂出的膠的形式不同，我們這里所說的自動(dòng)涂膠機(jī)嚴(yán)格意義上應(yīng)當(dāng)叫做“線形軌跡涂膠機(jī)”就是事自動(dòng)控制系績(jī)或者機(jī)器人控制系統(tǒng)帶動(dòng)涂
膠頭根據(jù)設(shè)定編制好的固定軌跡運(yùn)動(dòng)，對(duì)涂膠頭所走過的軌跡中需要施膠的部分進(jìn)行施校，這樣的軌跡可以是平面內(nèi)的直線、圍弧、點(diǎn)，也可以是獨(dú)立體空間工件上的直線、圓弧、點(diǎn)、而同樣叫做涂膠機(jī)而用在板材、膠布等上面進(jìn)行輥?zhàn)邮矫嫘瓮磕z形式的不在今天我們的念之中。當(dāng)然，具有 類似的線形軌跡涂膠的設(shè)備也因行業(yè)的不同而叫法各異，比如電子行業(yè)的小型余電子板上的微型涂膠機(jī)在許多地方叫做點(diǎn)控機(jī)，其他地方限著地方叫法不同也有打膠機(jī)、上膠機(jī)、商膠機(jī)、膠水機(jī)等。但最根本的叫法我們還是叫做涂膠機(jī)，或者自動(dòng)涂膠機(jī)，或者智能涂膠機(jī)。
涂膠機(jī)根據(jù)各具體使用行業(yè)不同，各設(shè)計(jì)開發(fā)廠家的開發(fā)理念不同而不同，所以分類方法也是備異:
4、按照涂膠工件而分:發(fā)動(dòng)機(jī)涂膠機(jī)、汽車燈具涂膠機(jī)、電子板涂膠機(jī)等。
B、根據(jù)控制系統(tǒng)而分:機(jī)器人涂膠機(jī)、數(shù)控系統(tǒng)涂膠機(jī)、單片機(jī)控制涂膠機(jī)等。
C、根據(jù)控制軸數(shù)而分:2軸涂膠機(jī)、2.5軸涂膠機(jī)、3軸涂膠機(jī)、多軸涂膠機(jī)等。
D、根據(jù)所涂膠類而分:厭氧校涂膠機(jī)、硅膠涂膠機(jī)、聚氨脂膠涂曉機(jī)等。
E:根據(jù)膠的配比而分;單組分膠涂校機(jī)、雙組分膠涂膠機(jī)等。
F、根據(jù)涂膠頭數(shù)而分;單頭涂脫機(jī)、雙頭涂校機(jī)、每頭涂膠機(jī)等。
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