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行業(yè)產(chǎn)品

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RTP-100快速退火爐

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

聯(lián)系方式：付志浩查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-04-26 09:04:08瀏覽次數(shù)：35次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：112條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：付志浩

產(chǎn)品簡介

RTP-100快速退火爐升溫速度：150攝氏度每秒，可以用于大4英寸晶圓或者100mm x 100mm尺寸樣品熱處理。RTP-100可以支持真空或高真空熱處理。

詳細(xì)介紹

品牌自營品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域化工,能源,電子,印刷包裝,電氣

RTP-100快速退火爐

技術(shù)規(guī)格：
- 溫度：1200攝氏度；
- 升溫速率：150攝氏度/秒；
- 降溫速度：200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度)；
- 溫控均勻性：≤ 1.5%設(shè)定溫度；
- 加熱方式：紅外鹵素?zé)?，頂部及底部加熱?/span>
- 燈管數(shù)量及功率：18支/20千瓦；
- 腔體冷卻：水冷方式；
- 襯底冷卻：氮?dú)獯祾撸?/span>
- 工藝氣路：MFC控制，多4路 (氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氮混合氣?；
- 主機(jī)尺寸及重量：505mm x 504mm x 420mm (W x D x H)，約55Kg；
 RTP-100快速退火爐
儀器特點(diǎn)：
- 真空快速退火爐，有低真空型號(10-3 hPa)、高真空型號(10-6 hPa)；
- 可在不同氣氛環(huán)境下使用，如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等；
- 控制方式：SIMATIC, SPS人機(jī)界面控制，7英寸觸摸屏；
- 可存儲(chǔ)50個(gè)程序，每個(gè)程序多分為50段控制；
- 全自動(dòng)智能控制，包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空度、循環(huán)水均可自動(dòng)設(shè)置；
- 優(yōu)異的溫控均勻性，的工藝重現(xiàn)性；
- 臺(tái)式設(shè)計(jì)；
 
應(yīng)用領(lǐng)域：
- 離子注入/接觸退火；
- 快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用；
- SiAu, SiAl, SiMo合金化；
- 低介電材料；
- 晶體化，致密化；
- 太陽能電池片鍵合；
等等...

關(guān)鍵詞：人機(jī)界面

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