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更新時間:2022-07-03 10:47:00瀏覽次數(shù):207次
聯(lián)系我時,請告知來自 智慧城市網(wǎng)產(chǎn)品功能:◆爐前清洗:擴散前清洗
◆爐前清洗:擴散前清洗。
◆光刻后清洗:除去光刻膠。
◆氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所有污點。
◆拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的污點。
◆外延前清洗:除去埋層擴散后的SIO2及2表面污物。
◆合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質(zhì)及光膠殘渣。
◆離子注入后的清洗:除去光刻膠,SIO2層。
◆擴散預(yù)沉積后清洗:除去預(yù)沉積時的BSG和PSG。
◆CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。
◆附件及工具的清洗:除去表面所有的玷污物
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