詳細(xì)介紹MDA-40FA/60FA全自動(dòng)光刻機(jī)MIDASSYSTEM公司開發(fā)并生產(chǎn)用于半導(dǎo)體、MEMS、LED及納米技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)領(lǐng)域的光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)和甩膠機(jī)，是韓國一家研發(fā)并商業(yè)化光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)的企業(yè)，始終致力于不斷完善、增強(qiáng)技術(shù)型企業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力

詳細(xì)介紹

詳細(xì)介紹

MDA-40FA/60FA全自動(dòng)光刻機(jī)

MIDAS SYSTEM公司開發(fā)并生產(chǎn)用于半導(dǎo)體、MEMS、LED及納米技術(shù)相關(guān)的實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)領(lǐng)域的光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)和甩膠機(jī)，是韓國一家研發(fā)并商業(yè)化光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)的企業(yè)，始終致力于不斷完善、增強(qiáng)技術(shù)型企業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力。

MIDAS SYSTEM公司具有專業(yè)化的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，以客戶需要為己任，生產(chǎn)、供應(yīng)滿足國內(nèi)外企業(yè)、科研院所不斷增長(zhǎng)的應(yīng)用需求，并且提供半導(dǎo)體工藝相關(guān)的設(shè)備需要。

MDA-40FA/60FA型曝光機(jī)是一款MIDAS公司新開發(fā)的產(chǎn)品，代表了下一代全區(qū)域光刻系統(tǒng)。這一新型半自動(dòng)化對(duì)準(zhǔn)曝光平臺(tái)具有更高的重復(fù)光刻精度以及更可靠的操作，非常適合陶瓷及其他探針卡應(yīng)用，同時(shí)MDA-12SA型半動(dòng)化光罩對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)具有更高的生產(chǎn)能力和容易操控。
廠家鏈接：.cn

MDA-40FA
操作簡(jiǎn)單，PLC操作，PC控制，圖像采集和數(shù)據(jù)記錄，100多個(gè)程序配方，顯微鏡位置控制系統(tǒng)，自動(dòng)對(duì)齊標(biāo)記搜索功能

類型：全自動(dòng)
掩模版尺寸：5英寸
基板尺寸：2~4英寸
均勻光束尺寸：6.25*6.25英寸
紫外光源：紫外燈，350W
光束波長(zhǎng)：350~450nm
光束均勻度<±3%
365 nm強(qiáng)度 ~25 mW/?
對(duì)齊方式：全自動(dòng)
對(duì)準(zhǔn)精度：1 um
加工方式：軟、硬、真空接觸、接近
工藝分辨率：1μm@1μm PR厚度，真空接觸

MDA-60FA
操作簡(jiǎn)單，PLC操作，PC控制，圖像采集和數(shù)據(jù)記錄，100多個(gè)程序配方，顯微鏡位置控制系統(tǒng)，自動(dòng)對(duì)齊標(biāo)記搜索功能

類型：全自動(dòng)
掩模版尺寸：7英寸
基板尺寸：4~6英寸
均勻光束尺寸：6.25*6.25英寸
紫外光源：紫外燈，350W
光束波長(zhǎng)：350~450nm
光束均勻度<±5%
365 nm強(qiáng)度 ~25 mW/?
對(duì)齊方式：全自動(dòng)
對(duì)準(zhǔn)精度：1 um
加工方式：軟、硬、真空接觸、接近
工藝分辨率：1μm@1μm PR厚度，真空接觸

商鋪：http://www.duty-free.cn/st211693/

主營產(chǎn)品：遠(yuǎn)程在線環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)、塵埃粒子計(jì)數(shù)器、浮游菌采樣器、風(fēng)量?jī)x、高效過濾器檢漏、泄壓閥（壓縮空氣質(zhì)量檢測(cè)儀）、氣流流行檢測(cè)儀（煙霧發(fā)生器）、氣溶膠發(fā)生器、氣溶膠光度計(jì)、溫濕度壓差測(cè)試儀，臭氧濃度檢測(cè)儀、風(fēng)速儀、聲級(jí)計(jì)、照度計(jì)、壓差表（計(jì)）等

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，智慧城市網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。