廈門市盈鑫豐進(jìn)出口有限公司供應(yīng)日本EBARA荏原干式真空泵 渦輪泵
EBARA干式真空泵
EBARA是“干式”真空泵設(shè)計(jì)和制造。 EB原干式真空泵具有許多產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)，包括：
提高可靠性
減少潔凈室顆粒負(fù)荷
低噪聲
低振動(dòng)
降低運(yùn)營成本
與當(dāng)今市場(chǎng)上的其他干式真空泵相比，擁有成本低。
多樣化的產(chǎn)品線使原市成為真空減排技術(shù)。 EBARA的干式泵也非常適合半導(dǎo)體行業(yè)中的許多應(yīng)用，以及任何不允許回油的應(yīng)用。
--EV-A型干式真空泵
EV-A型風(fēng)冷干式真空泵具有行業(yè)行時(shí)間的負(fù)載鎖，分析儀器和計(jì)量設(shè)備。
EV-A干式真空泵是理想的替代品
更換濕泵：無需再頻繁更換機(jī)油或進(jìn)行昂貴的維修
更換渦旋泵：消除了頂部密封和軸承更換的麻煩，基本壓力漂移
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)小型空冷泵無接觸設(shè)計(jì)在大氣中泵送速度高水蒸汽泵送任何空冷干泵的UL, CE，和NRTL額定的單和三相版本可用應(yīng)用負(fù)載鎖分析儀器(LCMS, ICPMS)電子顯微鏡PVD系統(tǒng)氧等離子系統(tǒng)
--風(fēng)冷-EV-PA型
EV-PA型超緊湊型風(fēng)冷干泵系列。無油，高效節(jié)能且無年度維護(hù)要求，該泵是更換嘈雜和高維護(hù)渦旋和濕式油泵的理想解決方案。該泵具有較低的擁有成本和較高的投資回報(bào)率（ROI）。重量僅為9千克，重量輕，非常適合小型臺(tái)式機(jī)或移動(dòng)系統(tǒng)。設(shè)計(jì)用于所有輕型應(yīng)用：負(fù)載鎖，電子顯微鏡，質(zhì)譜和其他分析儀器。
--風(fēng)冷-EV-A型
EV-A型系列風(fēng)冷干式真空泵具有行業(yè)的規(guī)格。非接觸式多級(jí)根部設(shè)計(jì)用于可靠，無顆粒的真空產(chǎn)生。EV-A干泵的典型應(yīng)用包括要求正常運(yùn)行時(shí)間的負(fù)載鎖，分析儀器和計(jì)量設(shè)備。
--ESA 200-500型
ESA系列涵蓋了從88到1765 CFM的廣泛抽速范圍。ESA泵的設(shè)計(jì)和制造是當(dāng)今市場(chǎng)上擁有成本低的泵。主泵由NiResist制成，NiResist是一種固態(tài)鑄造材料，以其優(yōu)異的耐腐蝕性而聞名。
--EV-M型
EV-M干式真空泵系列專為苛刻的過程應(yīng)用而設(shè)計(jì)，具有*的溫度控制和按需轉(zhuǎn)矩運(yùn)行能力，泵速從2,000 Lit / min80,000 Lit / min。EV-M系列能夠處理苛刻和輕載的應(yīng)用。該系列旨在比以前的泵消耗更少的功率。根部轉(zhuǎn)子裝置與高扭矩電動(dòng)機(jī)和逆變器的結(jié)合使EV-M系列具有更高的能效，是苛刻工藝應(yīng)用的理想解決方案。
--EST型
EST系列涵蓋了從88到1765 CFM的廣泛抽速范圍。EST泵的設(shè)計(jì)和制造是當(dāng)今市場(chǎng)上擁有成本低的泵。主泵由NiResist制成，NiResist是一種固態(tài)鑄造材料，以其優(yōu)異的耐腐蝕性而聞名。
--EV-S型
EV-S系列泵是節(jié)能型真空泵，適用于清潔至輕載過程。抽速范圍為58至710 CFM，極限壓力低至3 mTorr。
--ESA 25-100型
ESA系列涵蓋了從88到1765 CFM的廣泛抽速范圍。ESA泵的設(shè)計(jì)和制造是當(dāng)今市場(chǎng)上擁有成本低的泵。主泵由NiResist制成，NiResist是一種固態(tài)鑄造材料，以其優(yōu)異的耐腐蝕性而聞名。
--ESR型
ESR系列（節(jié)能型羅茨泵）是多級(jí)干式真空泵，設(shè)計(jì)用于從清潔到中負(fù)荷工藝的各種應(yīng)用。ESR系列的泵速范圍從35到1,625 CFM，極限壓力低至1 mTorr。
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