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對(duì)高速偏擺鏡你了解嗎？
閱讀：3850 發(fā)布時(shí)間：2021-1-29 PI的壓電陶瓷柔性鉸鏈平臺(tái)將亞納米級(jí)分辨率和導(dǎo)向精度以小串?dāng)_相結(jié)合。這使得其特別適用于計(jì)量學(xué)中的應(yīng)用、超高分辨率顯微鏡、干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的檢測(cè)系統(tǒng)。壓電陶瓷柔性鉸鏈平臺(tái)可用于毫秒穩(wěn)定精密定位和動(dòng)態(tài)掃描，頻率高達(dá)幾百赫茲，多達(dá)六自由度。
擁有zhuan 利的傳感器設(shè)計(jì)、無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向和長(zhǎng)使用壽命的PICMA®壓電陶瓷促動(dòng)器*地組合在一起，帶來(lái)了優(yōu)異、堅(jiān)實(shí)的機(jī)械部件。壓電陶瓷運(yùn)動(dòng)控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，可通過(guò)數(shù)字或模擬接口和輕松編程實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)易集成。
壓電柔性鉸鏈傾斜鏡
壓電陶瓷柔性鉸鏈鏡面平臺(tái)的高剛性可實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)性和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。該緊湊型設(shè)備常用于激光加工和激光控制中的射束偏轉(zhuǎn)。在一個(gè)固定的公共樞軸點(diǎn)及偏振方向無(wú)變化的的情況下，其并聯(lián)設(shè)計(jì)使傾斜軸上的性能*。
高速偏擺鏡結(jié)合zui高動(dòng)態(tài)和緊湊設(shè)計(jì)
光束偏轉(zhuǎn)達(dá)4.4毫弧度
亞毫弧度級(jí)分辨率
亞微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
無(wú)摩擦、高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
包含BK7反射鏡
可選配位置傳感器
PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命