真空系統(tǒng)嚴(yán)密性差的解決方法：進(jìn)行真空衰減試驗(yàn)，普諾克真空科技介紹兩種真空衰減試驗(yàn)的方法:

(1)關(guān)閉抽真空系統(tǒng)的抽氣閥并確保關(guān)閉嚴(yán)實(shí)，每分鐘記錄:排汽壓力、排汽溫度。打開(kāi)相應(yīng)的抽真空系統(tǒng)的抽氣閥。進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的時(shí)間一般為10~15min。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，通常的壓力上升的速度為0.1kPa/min,

(2)關(guān)閉抽真空系統(tǒng)的抽氣閥并確保關(guān)閉嚴(yán)實(shí);記錄排汽壓力的實(shí)際數(shù)值;隔10~15 min后記錄一次數(shù)值;打開(kāi)相應(yīng)的抽真空氣系統(tǒng)的抽氣閥;測(cè)量達(dá)到原先的排汽壓力值所用的時(shí)間。達(dá)到原先的排汽壓力的時(shí)間，應(yīng)是大約一半的真空衰減時(shí)間。

所有的測(cè)量方法都是以運(yùn)行條件恒定不變?yōu)榍疤岬?，特別是供給空氣冷凝器的蒸汽量應(yīng)是恒定不變的。如果系統(tǒng)的空氣泄漏率大于設(shè)計(jì)值，應(yīng)用超聲波檢漏儀進(jìn)行檢漏，所發(fā)現(xiàn)的漏點(diǎn)應(yīng)盡快消除。

常用的排氣系統(tǒng)為油擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)和渦輪分子泵排氣系統(tǒng)，主要組成為前級(jí)泵(機(jī)械泵、羅茨真空泵等)粗抽，然后利用主泵(油擴(kuò)散泵、分子泵等)，配置必要的真空管道、一定高真空閥門(mén)、所需的真空計(jì)(電阻真空計(jì)、電離真空計(jì)、B-A真空計(jì)等〕把真空度抽至高真空。當(dāng)利用油擴(kuò)散泵時(shí)，還需要加一擋油阱，防止泵油對(duì)真空器件內(nèi)部系統(tǒng)的污染，排氣結(jié)束后，真空度能達(dá)到10-6pa，可以滿足微波管的使用要求。為了提高微波管排氣時(shí)的真空度，減少在后工序的放氣量，我們利用濺射離子泵對(duì)微波管的排氣，排氣結(jié)束后真空度可以達(dá)到2x10-7Pa。排氣結(jié)束后，微波管和排氣系統(tǒng)進(jìn)行冷封離，在封離過(guò)程中機(jī)械擠壓使金屬零件放氣，同時(shí)微波管在放置一段時(shí)間后，由于其本身的高真空，內(nèi)部材料會(huì)進(jìn)行放氣，從而降低了管內(nèi)的真空度.這時(shí)我們利用了一種小離子泵(俗稱(chēng)鈦泵)保證內(nèi)部的真空度，同時(shí)在微波管老煉、測(cè)試等工序中，管內(nèi)零件經(jīng)過(guò)高速電子束的轟擊會(huì)產(chǎn)生放氣，需要鈦泵進(jìn)行抽除. 鈦泵的電流還具有檢測(cè)微波管內(nèi)部真空度的作用.真空系統(tǒng)嚴(yán)密性差是一個(gè)普遍存在的問(wèn)題，空冷機(jī)組的真空容積龐大、安裝焊口多容易造成真空系統(tǒng)泄漏量大，從而影響空冷機(jī)組真空系統(tǒng)的嚴(yán)密性，導(dǎo)致機(jī)組運(yùn)行背壓升高、煤耗增大、帶負(fù)荷的能力降低。