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揚州志力電氣科技有限公司/揚州高壓測
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XD-CVD（升級型）石英管式微波等離子體裝置性能簡介
2020-2-24 閱讀(64)
| 提 供 商 | 揚州志力電氣科技有限公司/揚州高壓測試儀 | 資料大小 | 25.5KB |
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| 資料圖片 | 下載次數(shù) | 2次 | |
| 資料類型 | WORD 文檔 | 瀏覽次數(shù) | 64次 |
XD-CVD（升級型）石英管式微波等離子體裝置性能簡介
DM-CVD型石英管式微波等離子體裝置，是由微（微波）、空（真空）、水（水冷）、電（電控）、機（機械結(jié)構(gòu)）等5大體系協(xié)調(diào)一致，構(gòu)成一個有機整體。整機性能優(yōu)良，美觀大氣。
1．微波系統(tǒng)
1）科技產(chǎn)品要以人為本。其它廠家的同類產(chǎn)品有微波泄漏現(xiàn)象，盡管泄漏劑量沒有超標，不排除個別場點接近臨界。產(chǎn)品的直接使用者是專家教授，是大學生，是肩負強國使命的科技精英，保障他們的人身安全和健康是儀器制造商義不容辭的職責。為此本廠投入大量人力財力，運用波導抗流技術(shù)解決微波泄漏問題，獲得圓滿成功——DM-CVD產(chǎn)品實現(xiàn)微波零泄漏。
2）本廠在治理泄漏的同時著力提高微波系統(tǒng)的工效，結(jié)構(gòu)創(chuàng)新有大的舉措，將諧振腔波導和阻抗匹配波導合為一體，大幅度改善了整機性能。三螺釘、反射板調(diào)節(jié)響應(yīng)好，諧振腔起輝閾值低，等離子炬保持能力強。
2．真空系統(tǒng)
1）DM-CVD的真空系統(tǒng)通過優(yōu)化管路結(jié)構(gòu)、改進密封措施以后，硬管走線簡捷工整，軟管聯(lián)接距離短。本措施使DM-CVD在不增大真空泵功率的前提下，有能力吸納更大流量的工作氣體，排放更大流量的反應(yīng)尾氣，提高鍍膜、刻蝕功效。
2）DM-CVD的真空系統(tǒng)配有3路工作氣體入口，其中2路直達反應(yīng)室，第3路供用戶自主聯(lián)接，靈活多變，適應(yīng)各種不同實驗和加工的配氣要求。
3）DM-CVD的真空系統(tǒng)配有尾氣濾清凈化裝置，確保人員安全，環(huán)境優(yōu)雅。
3．水冷系統(tǒng)
1）DM-CVD的水冷系統(tǒng)含高效制冷機、大流量增壓泵、大容量儲水箱（50升），外裝智能溫控表、管式液位計，提供了充足、方便、安全、節(jié)水的冷卻水源。
2）波導諧振腔的水套采用對旋雙環(huán)流水道，顯著改善了冷卻效果（同類廠家是單側(cè)注入排出式，另一側(cè)的積水幾乎不參與循環(huán)，不僅冷卻效果差，而且極易造成熱水潴留，埋下隱患）。
3）樣品臺支桿采用粗直徑夾層套，流量大、冷卻效率高，避免密封圈受熱，也突破了整個水冷系統(tǒng)中的阻滯瓶頸；更進一步，樣品臺也通水冷卻，做到了極大創(chuàng)新（同類廠家只有細套冷卻，有的干脆不通水）。
4．電控系統(tǒng)
1）本機采用繼電控制系統(tǒng)，啟停調(diào)節(jié)安全有序，工況指示儀表齊全、準確醒目，面板排列工整美觀，外接端口規(guī)整方便。
2）如果在缺水狀態(tài)下開啟微波系統(tǒng)，設(shè)備會拒絕接通高壓電路，并且發(fā)出聲光報警信號，直到操作者將冷卻水系統(tǒng)的故障排除，方能正常啟動。
3）本機接地電路設(shè)計合理，避免了其它廠家重復(fù)搭鐵、隔離搭鐵等權(quán)宜措施，使機況穩(wěn)定，運行安全。
5．機械結(jié)構(gòu)
1）主機和冷水機分兩體制造。主機適合桌面擺放，冷水機有萬向輪，適合落地擺放。好處有2：
①兩體式重量分散，方便搬運、方便擺放，便于室內(nèi)空間綜合利用，便于
冷水機與其它設(shè)備共享，總效果優(yōu)于其它廠家的一體高柜式結(jié)構(gòu)。
②主機擺放在普通桌面上，波導光學窗、儀表、各種調(diào)節(jié)部件高度適中便于觀察調(diào)節(jié)，避免了其它廠家（高立柜式）的控制面板和波導系統(tǒng)高高在上、遙不可及、調(diào)節(jié)觀察均不方便的弊端。
③由于妥善理順了電路搭鐵問題，波導系統(tǒng)才可以緊固在主機頂部，穩(wěn)定可靠，美觀大氣；機頂盒容納高壓部件及線路，安全、便捷、抗干擾。
2）反應(yīng)室內(nèi)的樣品臺高度可調(diào)，調(diào)節(jié)機構(gòu)巧妙靈活，豪華大氣，好看又好用?？烧{(diào)行程寬裕，下止點略低于波導下平面，便于用足反應(yīng)室空間；上止點可達上法蘭與上水套接口處，便于實驗完畢輕松取出樣品而不必拆卸反應(yīng)室。其它廠家無此部件，從而也無此方便。
3）考慮到用戶室內(nèi)空間并不寬裕，DM-CVD盡力做到機內(nèi)結(jié)構(gòu)緊湊合理，以減小整機體積，使之與用戶室內(nèi)布局和原有實驗臺匹配相容，成為一款濃縮的精品，摒棄了其它廠家為突顯高價位而膨脹體積和高度
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