2016年11月9日，浙江潔美電子科技股份有限公司訂購了我公司在線納米級光學(xué)膜厚儀一臺。
浙江潔美電子科技股份有限公司是一家專業(yè)為片式電子元器件(包括被動(dòng)元件、分立器件、集成電路及LED)配套生產(chǎn)電子薄型載帶、上下膠帶、轉(zhuǎn)移膠帶(離型膜)等產(chǎn)品的企業(yè)，主要產(chǎn)品有分切紙帶、打孔紙帶、不打穿孔紙帶、上下膠帶、塑料載帶及其配套蓋帶、塑料卷盤、轉(zhuǎn)移膠帶(離型膜)等，實(shí)現(xiàn)配套供應(yīng)，是業(yè)內(nèi)*可為客戶提供薄型載帶整體解決方案的集成供應(yīng)商。
PSD-2000型在線納米級光學(xué)膜厚儀利用光譜相干測量學(xué)，用于測量半導(dǎo)體制造過程中的薄膜厚度，以及安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備上的APC和薄膜的質(zhì)量控制，能夠測量單層/多層/涂布層在不透光基板上的厚度，度可達(dá)納米級。
PSD-2000型在線納米級光學(xué)膜厚儀，其核心部件主要源自于美國Ocean Optics有限公司，其微型光譜儀體積小巧，可對全譜進(jìn)行快速采集，產(chǎn)品應(yīng)用廣泛，可用于生化、光電、航空航天、環(huán)境保護(hù)、安全檢測、農(nóng)業(yè)等行業(yè)，可進(jìn)行 Low-E 玻璃鍍膜檢測，ITO 玻璃鍍膜檢測，PET 涂布在線膜厚檢測，金屬表面涂層檢測，半導(dǎo)體，LCD 膜厚檢測等。
PSD-2000型技術(shù)參數(shù)：
型號 PSD-2000
可測膜厚范圍 15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um
測量可重復(fù)性 0.02 μm
測量準(zhǔn)確 ±1%
光源 鎢鹵素?zé)?br />
測量波長 380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm
光斑尺寸 約φ1 mm
工作距離 10 mm
可測層數(shù) zui多10層
分析 FFT 分析，擬合分析
測量時(shí)間 19 ms/點(diǎn)
外部控制功能 Ethernet
接口 USB 2.0(主單元與電腦接口)；RS-232C(光源與電腦接口)
電源 AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗 約330W(2通道)~450W(15通道)
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