MPG40x 大氣壓至超高真空真空計
INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空計測量，范圍范圍從 5 x 10-9 毫巴至大氣壓（3.8 x 10-9 托至大氣壓）。 將多項(xiàng)技術(shù)融合到到一個帶有對數(shù)模擬輸出信號的單個緊湊數(shù)裝置中，極大降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。
益處
復(fù)合真空計 – 倒置磁控管與皮拉尼
測量范圍廣，從 5 x 10-9 毫巴到大氣壓
不會出現(xiàn)單絲燒毀的現(xiàn)象
的點(diǎn)火屬性
易于清潔
FPM 或金屬密封饋入裝置
高壓 LED 指示燈
對數(shù)模擬輸出信號
典型應(yīng)用
高真空壓力監(jiān)控
蒸發(fā)系統(tǒng)和濺射系統(tǒng)的基本壓力
中高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
規(guī)格
| 類型 | MPG400 FPM sealed | MPG401 metal-sealed | |
|---|---|---|---|
| 測量范圍（空氣，N2） | 5 x 10-9 … 1000 | 5 x 10-9 … 1000 | |
| 精度 (N2) | |||
| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±30% | ≈±30% |
| 可重復(fù)性 | |||
| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±5% | ≈±5% |
| 安裝定位 | any | any | |
| 容許壓力 | bar (absolute) | ≤10 (limited to inert gases) | ≤10 (limited to inert gases) |
| 容許溫度 | |||
| 運(yùn)行（環(huán)境） | °C | +5 … +55 | +5 … +55 |
| 貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 烘烤 (1) | °C | 150 | 150 |
| 單絲溫度（皮拉尼） | °C | 120 | 120 |
| 電源電壓 | |||
| 真空計上 | V (dc) | +15 … +30 | +15 … +30 |
| 纜線Z長的電源裝置 (2) | V (dc) | +16 … +30 | +16 … +30 |
| 波紋 | V (p-p) | ≤1 | ≤1 |
| 功耗 | W | ≤2 | ≤2 |
| 可連接的保險絲 | AT | ≤1 | ≤1 |
| 輸出信號（測量信號） | |||
| 電壓范圍 | V | 0 … +10.5 | 0 … +10.5 |
| 測量范圍 | V | +1.82 … +8.6 | +1.82 … +8.6 |
| 電壓與壓強(qiáng) | logarithmic, 0.6 volts per decade | logarithmic, 0.6 volts per decade | |
| 錯誤信號 | |||
| 無電源 | V | <0.5 | <0.5 |
| 皮拉尼傳感器，單絲斷裂 | V | >9.5 | >9.5 |
| 輸出電阻 | ? | 2 x 10 | 2 x 10 |
| Z小負(fù)載電阻 | k? | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof |
| 反應(yīng)時間 | |||
| p > 10-6 毫巴 | ms | <10 | <10 |
| p = 10-8 毫巴 | ms | ≈1000 | ≈1000 |
| 識別真空計 | 85, referenced to supply common | 85, referenced to supply common | |
| 狀態(tài) | |||
| 僅皮拉尼模式 | V | 0 (low) | 0 (low) |
| 復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式 | V | 15 … 30 (high) | 15 … 30 (high) |
| LED | LED green | high voltage on | high voltage on |
| 電氣連接 | FCC 68 appliance connector, 8 poles, female | FCC 68 appliance connector, 8 poles, female | |
| 傳感器電纜 | 8 poles plus shielding | 8 poles plus shielding | |
| 電纜長度 | m | ≤50 (8 x 0.14 mm2) | ≤50 (8 x 0.14 mm2) |
| 運(yùn)行電壓 | kV | ≤3.3 | ≤3.3 |
| 運(yùn)行電流 | µA | ≤500 | ≤500 |
| 暴露于真空的材料 | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W | |
| 內(nèi)部容積 | cm3 | ≈20 | ≈20 |
| 重量 | |||
| DN 25 ISO-KF | g | ≈700 | ≈730 |
| DN 40 ISO-KF | g | ≈720 | ≈750 |
| DN 40 CF-F | g | ≈980 | ≈1010 |
| 保護(hù)類別 | IP 40 | IP 40 | |
| 標(biāo)準(zhǔn) | |||
| CE 合規(guī) | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 | |
1) 沒有電子和磁遮蔽。
2) 必須根據(jù)傳感器電纜的長度按比例增加電源的Z低電壓。
零件號
| MPG400 FPM sealed | |
|---|---|
| 零件號 | 明細(xì) |
| 351-010 | MPG400 真空計 |
| 351-011 | MPG400 DN 40 ISO-KF |
| 351-012 | MPG400 DN 40 CF-F |
| MPG401 metal-sealed | |
| 零件號 | 明細(xì) |
| 351-020 | MPG401 DN 25 ISO-KF |
| 351-021 | MPG401 DN 40 ISO-KF |
| 351-022 | MPG401 DN 40 CF-F |
| 351-023 | 磁屏蔽 |
附件
| MPG400 FPM sealed | |
|---|---|
| 零件號 | 明細(xì) |
| 351-023 | 磁屏蔽 |
| MPG401 metal-sealed | |
| 零件號 | 明細(xì) |
| 351-023 | 磁屏蔽 |
備件
| MPG400 FPM sealed | |
|---|---|
| 零件號 | 明細(xì) |
| BN846469-T | Spare measurement system MPG400 |
| BN846470-T | Spare measurement system MPG400 DN40 KF |
| BN846471-T | Spare measurement system MPG400 DN40CF-F |
| 351-994 | MPG40X 點(diǎn)火單元 |
| 351-995 | 起輝器 |
| 351-998 | 維修包 |
| 351-999 | 維修保養(yǎng)套件 |
| MPG401 metal-sealed | |
| 零件號 | 明細(xì) |
| BN846472-T | Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF |
| BN846473-T | Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF |
| BN846474-T | Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F |
| 351-994 | MPG40X 點(diǎn)火單元 |
| 351-995 | 起輝器 |
| 351-996 | MPG401 Repair set |
| 351-997 | MPG401 Maintenance set |
