高阻四探針測(cè)試儀高阻四探針測(cè)試儀
1.雙電測(cè)四探針法測(cè)試薄層樣品方阻計(jì)算和測(cè)試原理如下:
直線四探針測(cè)試布局如圖8,相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據(jù)物理基礎(chǔ)和電學(xué)原理:
當(dāng)電流通過1、4探針,2、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下:
四探針測(cè)試結(jié)構(gòu)
當(dāng)電流通過1、2探針,4、3探針測(cè)試電壓時(shí)計(jì)算如下:從以上計(jì)算公式可以看出:方阻RS只取決于R1和R2,與探針間距無關(guān).針距相等與否對(duì)RS的結(jié)果無任何影響,本公司所生產(chǎn)之探針頭全部采用等距,偏差微小,對(duì)測(cè)試結(jié)果更加精準(zhǔn)。
本儀器本儀器采用四探針雙電測(cè)量方法,適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示,無需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,電阻率單位自動(dòng)選擇,儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運(yùn)輸安全、使用方便;選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,壓強(qiáng) 配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).
雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。
要求:
該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。