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HMDS烤箱,HMDS真空烘箱

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/2/22 15:10:08
  • 訪問次數(shù)374
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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       上海雋思實驗儀器有限公司具有自主開發(fā)、設(shè)計能力。服務(wù)于電子、電力、通訊、航空航天等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)秀的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!

       公司坐落于中國上海,奉賢區(qū)柘林鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)。公司擁有多臺*的專業(yè)生產(chǎn)設(shè)備,公司是一個專注多年熱處理設(shè)備、儀器設(shè)備的生產(chǎn)廠家,擁有高的技術(shù)人才,高素質(zhì)的工作團(tuán)隊,豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗。主要業(yè)務(wù)項目有:半導(dǎo)體濕法設(shè)備, 硅片刻蝕機(jī),清洗設(shè)備,HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烤箱,無塵烤箱,無氧烤箱,無塵無氧固化烤箱,真空烤箱,真空無氧固化烤箱,干燥烘箱,黑蒜設(shè)備,環(huán)境可靠性設(shè)備,電線電纜檢測儀器等設(shè)備,同時可根據(jù)客戶要求設(shè)計非標(biāo)類的產(chǎn)品。

       真誠的希望各界用戶給我們提出寶貴的意見及建議,以便我公司為您提供更周到、更完善的服務(wù),做到讓您滿意!

儀器儀表
HMDS烤箱,HMDS真空烘箱的由來半導(dǎo)體工藝中需要在各種襯底上進(jìn)行光刻膠涂布,黏附性是否良好是的問題
HMDS烤箱,HMDS真空烘箱 產(chǎn)品信息

HMDS烤箱,HMDS真空烘箱的由來

半導(dǎo)體工藝中需要在各種襯底上進(jìn)行光刻膠涂布,黏附性是否良好是的問題。黏附差導(dǎo)致嚴(yán)重的側(cè)面腐蝕,線條變寬,甚至有可能導(dǎo)致圖形全部消失,濕法刻蝕技術(shù)要求光刻膠與下面的襯底有很好的黏附性。

提高光刻膠與襯底之間的黏附力有多個步驟:

a、涂膠前進(jìn)行脫水堅膜;

b、使用黏附促進(jìn)劑,即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布;

c、高溫后烘。

完成以上工藝僅用我司生產(chǎn)的HMDS真空烘箱即可。

HMDS烤箱,HMDS真空烘箱

溫度范圍:RT+10-250℃

真空度:≤133pa(1torr)

控制儀表:人機(jī)界面,一鍵運行

儲液瓶:HMDS儲液量1000ml 

真空泵:無油渦旋真空泵

       HMDS真空烘箱也稱為智能型HMDS真空系統(tǒng) 將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。


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