品名：氣體流量傳感器
型號(hào)：AWM43600V
產(chǎn)品類別描述：傳感器-氣流傳感器- AWM40000 系列
產(chǎn)品描述：氣體質(zhì)量流量傳感器, 信號(hào)調(diào)理： 放大; 流量/壓力范圍：+ 6.0 SLPM; 接口類型：岐管。
描述 |
操作： 微橋氣體質(zhì)量流量傳感器的工作原理是熱傳遞。氣體質(zhì)量流量經(jīng)引導(dǎo)流過傳感元件的表面。輸出電壓與流過封裝進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量成正比。特殊設(shè)計(jì)的外殼精確地引導(dǎo)和控制氣流流過微結(jié)構(gòu)傳感元件。封裝的機(jī)械設(shè)計(jì)能夠輕松將其安裝在印刷電路板上。 微橋氣體質(zhì)量流量傳感器內(nèi)含一塊的基于*微結(jié)構(gòu)技術(shù)的硅芯片。該芯片采用薄膜和絕熱橋結(jié)構(gòu)，內(nèi)含加熱器和溫度傳感元件。橋結(jié)構(gòu)能夠快速靈敏地響應(yīng)流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件兩側(cè)的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜電阻保證了從每個(gè)傳感器之間始終具有一致的可互換性。 微橋氣體質(zhì)量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。這些電阻呈懸浮狀態(tài)，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。芯片置于精確規(guī)格的氣流通道，提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。通過在流量傳感橋下刻蝕空腔，發(fā)熱器和傳感電阻能實(shí)現(xiàn)高效的熱隔離。微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器的小尺寸和熱隔離功能實(shí)現(xiàn)對(duì)氣流的極速響應(yīng)及高靈敏度。 惠斯通雙橋控制氣流測(cè)量——一個(gè)提供閉環(huán)發(fā)熱器控制，另一個(gè)包含雙傳感元件。加熱器電路通過提供與質(zhì)量流量成正比的輸出，地降低環(huán)境溫度變化導(dǎo)致的輸出變化。此電路可維持加熱器的溫度以高于環(huán)境溫度 (160 °C) 恒定溫差，而環(huán)境溫度則由芯片上的熱電阻測(cè)量得知。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對(duì)應(yīng)。 注意： 地降低某些應(yīng)用中可能產(chǎn)生的灰塵污染的影響。經(jīng)過設(shè)計(jì)，氣流中可能存在的塵粒將平行于芯片表面流過芯片。另外，微結(jié)構(gòu)芯片產(chǎn)生的熱遷移效應(yīng)能移走橋結(jié)構(gòu)上的微米級(jí)塵粒。 可使用簡(jiǎn)單的過濾網(wǎng)，防止粉塵附著在芯片邊緣和通道表面。在大多數(shù)應(yīng)用中，只要在氣流裝置的上游側(cè)串聯(lián)一只一次性的五微米過濾網(wǎng)，即可獲得充分的過濾效果。 |
警告： 產(chǎn)品損傷：AWM 系列微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器不適用于測(cè)量液體流量，液體流過傳感器時(shí)會(huì)損壞傳感器。 不遵守這些說明可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品受損。 |
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產(chǎn)品規(guī)格 | |||||
信號(hào)調(diào)節(jié) | 放大 | ||||
流量/壓力范圍 | 6.0 SLPM | ||||
調(diào)整點(diǎn)的輸出電壓 | 6.0 SLPM 時(shí)，5.0 Vdc ±0.15 Vdc | ||||
接口類型 | 岐管 | ||||
系列名稱 | AWM40000 | ||||
整個(gè)溫度范圍內(nèi)的零位 | ±0.025 Vdc | ||||
輸出溫漂 | ±6% 讀數(shù) | ||||
流動(dòng)速率變化 | 5.0 SLPM/s | ||||
可重復(fù)性 | ±1% 讀數(shù) | ||||
零位 | 1 Vdc ±0.05 Vdc | ||||
響應(yīng)時(shí)間 | 典型值 1 ms，值 3 ms | ||||
電源電壓 | 最小值 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，值 15.0 Vdc | ||||
共模壓力 | 25 psi | ||||
功耗 | 75 mW | ||||
工作溫度 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ||||
儲(chǔ)存溫度 | -40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F] | ||||
介質(zhì)兼容性 | 僅干燥氣體 | ||||
重量 | 11 g | ||||
沖擊 | 100 g 峰值（5 次下降，6 軸） | ||||
貨源 | |||||
備注 | 氮校準(zhǔn) | ||||
